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    Veeco用于 LED 生產(chǎn)的 TurboDisc EPIK 700 GaN MOCVD 系統(tǒng)

    產(chǎn)品品牌

    Veeco

    規(guī)格型號：

    EPIK? 700 MOCVD

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-上海市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥10000.00
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    品牌：Veeco

    型號：EPIK? 700 MOCVD

    所屬系列：半導體加工設備-外延類設備-MOCVD金屬有機化合物氣相沉積設備

    Veeco用于 LED 生產(chǎn)的 TurboDisc EPIK 700 GaN MOCVD 系統(tǒng)

    將最佳良率和最高生產(chǎn)率相結合，有效降低 LED 生產(chǎn)成本。

    Veeco 獲獎的 EPIK® 700 MOCVD 系統(tǒng)是 LED 行業(yè)生產(chǎn)率最高的 MOCVD 系統(tǒng)，與前幾代產(chǎn)品相比，可使每晶片的成本降低高達 20%。EPIK 700 擁有單反應腔和雙反應腔配置并采用突破性技術，包括新的 IsoFlange™ 中心注入流以及可在整個承載盤中提供均勻的層流和統(tǒng)一溫度曲線的 TruHeat™ 晶片線圈。這些技術創(chuàng)新保證了波長的均勻度，從而能夠進一步提高良率。由于反應腔容量的增大，EPIK 700 的吞吐量可比其他系統(tǒng)高出 2.5 倍。

    專為批量生產(chǎn)而設計的 EPIK 700 可容納 31x4 英寸、12x6 英寸和 6x8 英寸的承載盤。客戶可以很輕松地從現(xiàn)有的 TurboDisc 系統(tǒng)切換到新的 Epik 700 MOCVD 平臺，從而快速啟動高品質 LED 的生產(chǎn)。憑借 EPIK 700 MOCVD 平臺的靈活性，將來還能在此基礎上進行升級和改進，使得這個世界一流的系統(tǒng)一直保持與眾不同。

    • 與前幾代產(chǎn)品相比，每晶片成本節(jié)省高達 20%
    • 同類最佳的均勻度和工藝重現(xiàn)性能夠進一步提高良率
    • 行業(yè)生產(chǎn)率最高的反應腔可帶來比以前反應腔高出 2.5 倍的生產(chǎn)量
    • 與 MaxBright™ MOCVD 相比，可通過成熟的自動化獲得最大的產(chǎn)量、增強的維護便利性、更長的維護間隔以及改進的廠房面積利用率

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