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    包郵 關(guān)注:663

    GaN-MOCVD設(shè)備 青島杰生

    產(chǎn)品品牌

    青島杰生

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    • 產(chǎn)品名稱:2英寸6片W620型設(shè)備
    • 產(chǎn)品介紹:
      主要技術(shù)參數(shù):

      1、生長晶片尺寸: 2英寸6片;
      2、生長溫度控制范圍:300-1300℃;
      3、最大生長速度:大于3um/小時;
      4、反應(yīng)室壓力控制范圍20-900托,連續(xù)可調(diào),控制精度1托(200-900托);0.2托(20-200托);
      5、系統(tǒng)氣密性:管路系統(tǒng)漏氣率<1X10-9PaL/S;
      6、外延膜的均勻性和重復(fù)性優(yōu)于±5%;
      7、配備:(可根據(jù)用戶要求配置)
          4路氣體:(H2,N2,NH3,SiH4)
          6路MO源:(TEG,TEA,TMA,Cp2Mg,TMG,TMin)
      7、主機(jī)外形尺寸:4800×800×2200mm(L×W×H)(不包括RF電源)

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