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    包郵 關(guān)注:705

    RTA快速退火爐 金立盾

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-退火爐

    產(chǎn)品品牌

    金立盾

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-山東省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:金立盾

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-退火爐

    RTA快速退火爐

     

    屏幕快照 2016-02-08 下午1.29.11.png

    ●  用  途:

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    活性退火、合金

    薄膜生成退火

    歐姆電極燒結(jié)

     

    ●  特  點:

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    采用紅外測溫方式,快速準確測溫

    加熱氣氛為真空、氣體、流動氣體等

    可進行高速加熱、高速冷卻

    紅外燈管,多溫區(qū)獨立加熱,功率可調(diào)

    可進行大片量Wafer退火工藝

    低功耗,高產(chǎn)能

    可選配機械手,進行連續(xù)式工作

     

     

    ●  技術(shù)指標:

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    使用溫度范圍

    RT-1100℃

    Wafe尺寸

    2-6英寸

    放片量

    16片

    升溫速率

    10-150℃/S  可調(diào)

    工藝氣體

    N2

    氣體控制

    MFC、氣動閥

    真空機組

    選配、干式機組

    真空度

    10-3Pa(10-5Torr)

    溫度均勻性

    ±3℃(300-800℃)

    控制

    工業(yè)PC

    載料盤

    碳化硅

    報警

    溫度、壓力、氣體、動作報警等

    電源

    三相五線、50HZ、380V

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