掩膜計量系統(tǒng)
證明您的質(zhì)量
為了說明產(chǎn)品是符合規(guī)范的,您必須證明激光掩膜上的圖形能夠在制造顯示屏?xí)r恰當(dāng)?shù)貙R。為了實現(xiàn)這一點,您需要比光刻機精度更高的測量設(shè)備。
主要優(yōu)勢
*更佳的配準(zhǔn) 30%
*更好地將掩膜套合到掩膜上 20%
*更短的周轉(zhuǎn)時間30%
· 最新的創(chuàng)新性Prexision平臺具備優(yōu)異的精準(zhǔn)度與可重復(fù)性
· 用我們的專利技術(shù)改善配準(zhǔn)測量。
· 因為第一次測量的結(jié)果精確無誤,這大大給您節(jié)省了周轉(zhuǎn)時間。
· 充分發(fā)揮我們的Prexision光刻機的潛力。
基于最精確的Prexision平臺打造出的Prexision-MMS將對大面積的配準(zhǔn)測量帶到了全新的高度。現(xiàn)在,您可以證明您的光掩膜質(zhì)量究竟有多好了!
為充分利用其性能,您的測量系統(tǒng)性能對于精密調(diào)校光刻機也是極其重要的,這樣您的光掩膜才能以最高的質(zhì)量描繪出來。
Prexision-MMS 提供兩個型號。G8 型最高可處理用于 8 代顯示器玻璃尺寸的掩模尺寸。對于 G10 型,最高可處理 11 代顯示器尺寸。
技術(shù)指標(biāo)
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Prexision-MMS
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掩膜對掩膜套合3σ[nm]
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40
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配準(zhǔn)3σ[nm]
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65
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關(guān)鍵尺寸可重復(fù)性3σ[nm]
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50
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最大尺寸
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G8
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