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    英國Durham Microwriter ML3 無掩膜光刻機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    英國Durham

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:英國Durham

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-其它光刻設(shè)備

     
    英國Durham Microwriter ML3 無掩膜光刻機(jī)
     
    詳細(xì)介紹
    小型臺式無掩膜光刻系統(tǒng)
     

        小型臺式無掩膜光刻系統(tǒng)是英國Durham Magneto Optics公司專為實(shí)驗(yàn)室設(shè)計開發(fā),為微流控、SAW、半導(dǎo)體、自旋電子學(xué)等研究領(lǐng)域提供方便高效的微加工方案。

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        傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業(yè)供應(yīng)商提供,但是在研發(fā)環(huán)境中,掩膜板的設(shè)計通常需要經(jīng)常改變。無掩膜光刻技術(shù)通過以軟件設(shè)計電子掩膜板 的方法,克服了這一問題。與通過物理掩膜板進(jìn)行光照的傳統(tǒng)工藝不同,激光直寫是通過電腦控制一系列激光脈沖的開關(guān),在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。

        Microwriter ML 3 是一款多功能激光直寫光刻系統(tǒng),具有結(jié)構(gòu)小巧緊湊(70cm X 70cm X 70cm),無掩膜直寫系統(tǒng)的靈活性,還擁有高直寫速度,高分辨率的特點(diǎn)。采用集成化設(shè)計,全自動控制,可靠性高,操作簡便。適用于各種實(shí)驗(yàn)室桌面。

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    產(chǎn)品特點(diǎn)   

    Focus Lock自動對焦功能 

    Focus lock技術(shù)是利用自動對焦功能對樣品表面高度進(jìn)行探測,并通過Z向調(diào)整和補(bǔ)償,以保證曝光分辨率。

    光學(xué)輪廓儀 

    Microwriter ML3 配備光學(xué)輪廓探測工具,用于勻膠后沉積層,蝕刻層,MEMS等前道結(jié)構(gòu)的形貌探測與套刻。Z向最高精度100 nm,方便快捷。

     

    標(biāo)記物自動識別

    點(diǎn)擊“Bulls-Eye”按鈕,系統(tǒng)自動在顯微鏡圖像中識別光刻標(biāo)記。標(biāo)記物被識別后,將自動將其移動到顯微鏡中心位置。

    別直寫前預(yù)檢查

    軟件可以實(shí)時顯微觀測基體表面,并顯示預(yù)直寫圖形位置。通過實(shí)時調(diào)整位置、角度,直到設(shè)計圖形按要求與已有結(jié)構(gòu)重合,保證直寫準(zhǔn)確。

     

     

     

     
     

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