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    BG-401A曝光機(jī)（光刻機(jī)）

    產(chǎn)品品牌

    國(guó)產(chǎn)

    庫(kù)       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：國(guó)產(chǎn)

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-其它光刻設(shè)備

     BG-401A曝光機(jī)（光刻機(jī)）

     

     


    BG-401A曝光機(jī)（光刻機(jī)）
    產(chǎn)品描述

    BG-401A曝光機(jī)（光刻機(jī)）主要用于中小規(guī)模集成電路、聲表面波器件和其它各種半導(dǎo)體元器件制造工藝中的單面對(duì)準(zhǔn)及曝光。最大兼容4英寸晶圓。

     

    主要技術(shù)特點(diǎn)

    對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)：
    對(duì)準(zhǔn)精度高，漂移小。精密楔形誤差補(bǔ)償機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)三點(diǎn)找平，找平力小，延長(zhǎng)掩模版使用壽命。                        

    曝光系統(tǒng)：
    采用柱體蠅眼透鏡和高能力集光的橢球反射鏡等精密光學(xué)件，具有較高的光強(qiáng)、均勻性、光學(xué)分辨率。

    分離視場(chǎng)顯微鏡：
    在X、Y方面進(jìn)行大范圍掃描觀察，可進(jìn)行單視場(chǎng)或雙視場(chǎng)切換，提高對(duì)準(zhǔn)效率和套準(zhǔn)精度，同時(shí)兼容CCD成像顯示功能。

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    4001027270

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