網(wǎng)站首頁(yè)

|EN

當(dāng)前位置: 首頁(yè) » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 光刻設(shè)備 » 其它光刻設(shè)備 »ST-1500i投影光刻機(jī)
    包郵 關(guān)注:608

    ST-1500i投影光刻機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    國(guó)產(chǎn)-中科院

    庫(kù)       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:國(guó)產(chǎn)-中科院

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-其它光刻設(shè)備

     

    ST-1500i投影光刻機(jī)

    ST-1500i 投影光刻機(jī)
    ST-1500i 投影光刻機(jī)ST-1500i 投影光刻機(jī)

    主要技術(shù)指標(biāo):

    曝光場(chǎng)面積:10mm×10mm

    分辨力:0.8-1μm(膠厚2μm的正膠);

    套刻精度:1μm

    物鏡倍率:1:10

    掩模尺寸:4 inch、5 inch

    基片尺寸:2 inch、3 inch、4 inch、6 inch

    工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍:X:150mm、 Y:150mm;

    工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)定位精度:±0.65μm;


    技術(shù)特點(diǎn):

    采用CCD檢焦系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)整場(chǎng)調(diào)平、自動(dòng)逐場(chǎng)調(diào)焦或自動(dòng)選場(chǎng)調(diào)焦曝光。10倍縮小投影光刻物鏡成像,一次曝光面積約10mm×10mm 采用專利技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)均明,進(jìn)口精密光柵、進(jìn)口電機(jī)、進(jìn)口導(dǎo)軌、進(jìn)口絲杠實(shí)現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接,可適應(yīng)2英寸、3英寸、4英寸、6英寸基片。具備對(duì)準(zhǔn)和套刻功能,操作方便、實(shí)用性強(qiáng)。

    咨詢

    購(gòu)買(mǎi)之前,如有問(wèn)題,請(qǐng)向我們咨詢

    提問(wèn):
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號(hào)