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俄羅斯 Optosystem準分子激光器CL7000
產品品牌
俄羅斯 Optosystem
庫 存:
1
產 地:
中國
準分子激光器: CL7000, 俄羅斯 Optosystem
準分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器,由于波長短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應用上,準分子激光器在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫,LASIK,光刻,微納加工等方面占主導的地位。
CL7000系列技術參數(shù):
型號
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ArF
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KrF
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XeCl
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波長
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193 nm
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248 nm
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308 nm
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管材料
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陶瓷
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預電離
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火花
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標準脈沖能量
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250 mJ
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400 mJ
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300 mJ
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平均功率
CL 7020
CL7050
CL 7100
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5 W
10 W
20 W
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8 W
20 W
35 W
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6 W
15 W
25 W
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最大重復頻率
CL 7020
CL 7050
CL 7100
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20 Hz
50 Hz
100 Hz
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脈寬
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17 ns
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20 ns
|
20 ns
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脈沖穩(wěn)定度
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sigma < 2%
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光斑大小
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6 x 20 mm
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6 x 21 mm
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7 x 22 mm
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光束發(fā)散角
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1.5 x 4.5 mrad
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時間抖動
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< 2 ns
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尺寸, (重量)
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1350L x 375W x 710H мм (170 kg)
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冷卻
CL 7020
CL 7050
CL 7100
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風冷
水冷(水流< 1L/min)
水冷(水流< 3L/min)
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功率
CL 7020
CL 7050
CL 7100
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220V / 50Hz, 10А, 不超過1500 VA
220V / 50Hz, 10А, 不超過 1800 VA
380/220V, 50Hz, 10А, 不超過 3500 VA
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氣體
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1 premix cylinder
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控制接口
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RS 232, DOS/Windows
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