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    俄羅斯 Optosystem準分子激光器CL7000

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-光刻設備-其它光刻設備

    產品品牌

    俄羅斯 Optosystem

    庫       存:

    1

    產       地:

    中國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:俄羅斯 Optosystem

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-光刻設備-其它光刻設備

     

    準分子激光器: CL7000,   俄羅斯 Optosystem

          準分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器,由于波長短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應用上,準分子激光器在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫,LASIK,光刻,微納加工等方面占主導的地位。


    CL7000系列技術參數(shù):

    型號

    ArF

    KrF

    XeCl

    波長

    193 nm

    248 nm

    308 nm

    管材料

    陶瓷

    預電離

    火花

    標準脈沖能量

    250 mJ

    400 mJ

    300 mJ

    平均功率
    CL 7020
    CL7050
    CL 7100


    5 W
    10 W
    20 W


    8 W
    20 W
    35 W


    6 W
    15 W
    25 W

    最大重復頻率
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    20 Hz
    50 Hz
    100 Hz

    脈寬

    17 ns

    20 ns

    20 ns

    脈沖穩(wěn)定度

    sigma < 2%

    光斑大小

    6 x 20 mm

    6 x 21 mm

    7 x 22 mm

    光束發(fā)散角

    1.5 x 4.5 mrad

    時間抖動

    < 2 ns

    尺寸, (重量)

    1350L x 375W x 710H мм (170 kg)

    冷卻
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    風冷
    水冷(水流< 1L/min)
    水冷(水流< 3L/min)

    功率
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    220V / 50Hz, 10А, 不超過1500 VA
    220V / 50Hz, 10А, 不超過 1800 VA
    380/220V, 50Hz, 10А, 不超過 3500 VA

    氣體

    1 premix cylinder

    控制接口

    RS 232, DOS/Windows



     

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