精密非接觸式測厚儀是一款高性能高精密的測量儀器,可以不接觸樣品表面進行厚度測量。這種方式可以避免接觸測量引起的表面損傷,特別適用于軟脆材料及對樣品表面質(zhì)量高要求的測量。該儀器能非常理想的用于半導(dǎo)體、光學(xué)及電光材料處理等的測量應(yīng)用。
1. 原理:
測厚儀配置的測量探針將壓縮氮氣垂直向下吹向被測量的樣品表面,在樣品表面上形成穩(wěn)定氣膜,可以不接觸樣品表面進行厚度測量,并通過數(shù)字顯示系統(tǒng)顯示出所測得樣品的厚度數(shù)值。
2. 主要特點:
測量任何非多孔材料 消除對易接觸表面的污染 測量圓柱形或球形 響應(yīng)快速、精度高、不受被測目標材質(zhì)影響 超精加工表面無光澤痕跡測量到0.001mm 特別適用于半導(dǎo)體材料的測量。如:磷化銦、碲鋅鎘、砷化鎵、藍寶石、硅片等,其他材料:陶瓷片、薄膜、高度拋光表面樣件等
3.應(yīng)用:
廣泛地應(yīng)用在電鍍、防腐、航天航空、化工、汽車、造船、輕工、商檢等檢測領(lǐng)域。
4. 注意事項:
在使用測厚儀時,需要注意一下幾點:
① 在進行測試的時候要注意標準片集體的金屬磁性和表面粗糙度應(yīng)當(dāng)與試件相似;
② 在測量時,需將測頭與試樣表面保持垂直;
③ 在進行測試時,需注意基體樣品的臨界厚度,如大于厚度測量,就不會受基體樣品厚度影響;
④ 在測量時,需注意樣品曲率對測量的影響,因此在彎曲的樣品表面測量時不可靠;
⑤ 測量是需保持壓力的恒定,否則會影響測量的讀數(shù);