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    包郵 關(guān)注:415

    華林科納酸堿刻蝕機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-刻蝕設(shè)備-HF刻蝕設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    南通市華林科納

    庫(kù)       存:

    50

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:南通市華林科納

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-刻蝕設(shè)備-HF刻蝕設(shè)備

     1.設(shè)備概況

    l 名稱(chēng):刻蝕清洗機(jī)

    l 型號(hào):CSE-JR11-KS02;

    l 機(jī)臺(tái)尺寸 : 3200mmWx1400mmDx2000mmH

    l 重量:600Kg( 大約);

    l 工作環(huán)境:室內(nèi)放置;

    2.機(jī)臺(tái)臺(tái)面

    l 操作臺(tái)面高度為800mm,適合于身高為1.5m到1.8m人員操作;

     

    3.整機(jī)構(gòu)造

    l 骨架:優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架,外包3mmPP板防腐焊接而成;

    l 外殼:德國(guó)進(jìn)口10mm瓷白PP板熱焊接而成;

    l 防護(hù)門(mén):正面操作側(cè)采用透明上下推拉門(mén);

    l 管路:管路位于機(jī)臺(tái)下后部,以節(jié)省空間,采用英制接口;

    l 藥液回收區(qū)位于設(shè)備左后下部;

    l 設(shè)備2#與3#處有活動(dòng)推拉擋板;

    l 排風(fēng):根據(jù)流體學(xué)原理設(shè)計(jì)位于機(jī)臺(tái)后上部,并配有導(dǎo)流和風(fēng)量調(diào)節(jié)裝置;

    l 工作照明:機(jī)臺(tái)上方配照明(與工作區(qū)隔離);

    l DI/N2 GUN:可伸縮的N2 Gun和DI水槍各把,置于右側(cè);

    l 臺(tái)面板為德國(guó)10mm PP板(帶有漏液孔);

    l 人機(jī)界面:Touch Screen彩色界面;

    l 支腳:有滑輪裝置和固定裝置,可調(diào)整高度和鎖定;

    4.控制系統(tǒng)

    l PLC可程式控制器(歐姆龍)+Touch Screen彩色人機(jī)界面操作。

    l 制程參數(shù)皆采用可設(shè)定、修改、記憶制程模式;

    l 操作模式可分為自動(dòng)/手動(dòng)/編輯/維修。

    l 配有獨(dú)立配電箱,電路區(qū)進(jìn)行功能分塊,強(qiáng)電、弱電塊,以便于維護(hù);

    l 具Password功能以避免操作人員誤改參數(shù):

    Password-1.啟動(dòng)及可進(jìn)入自動(dòng)模式內(nèi)容。

    Password-2可進(jìn)入手動(dòng)模式。

    Password-3可進(jìn)入編輯模式修改制程參數(shù)。

    5.安全保護(hù)

    l 設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線(xiàn)并通過(guò)PE管進(jìn)行保護(hù),防腐防水;

    l 設(shè)有防漏電斷路保護(hù)裝置;

    l 電控部分正壓空體保護(hù),防水防腐;

    l 設(shè)備有可靠的接地裝置及緊急關(guān)機(jī)和報(bào)警系統(tǒng);

    l 藥液回收區(qū)配有獨(dú)立抽風(fēng),和底部滑動(dòng)滾輪,便于拿放回收桶;

    l EMO 裝置緊急按鈕開(kāi)關(guān);

    l 蜂鳴器聲?shū)Q提示工作完成,三色報(bào)警燈及蜂鳴聲光故障報(bào)警;

    l 機(jī)臺(tái)底部設(shè)有防漏盤(pán)及漏液感知;

    l 液位異常感知/安全液位保護(hù);

    配有加熱保護(hù);

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    請(qǐng)問(wèn)你們這個(gè)設(shè)備一般用什么藥液?你們提供嗎?

    sdmm  2017-08-11

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