詳細(xì)介紹：詳細(xì)描述：SPTS公司擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的無水氫氟酸氣相刻蝕工藝。相比市面上其他廠商以液態(tài)氫氟酸氣化或者其他載氣輸運(yùn)模式，SPTS采用以氣態(tài)乙醇作為載氣與氣態(tài)氫氟酸混合后對二氧化硅介質(zhì)進(jìn)行選擇性蝕刻，并及時(shí)處理在反應(yīng)過程中出現(xiàn)的水汽，真正做到無水刻蝕。一方面體現(xiàn)出對硅襯底，金屬以及低應(yīng)力氮化硅等都有非常好的選擇性，因?yàn)樵谒饔孟?，金屬等其他材料也?huì)被氫氟酸所腐蝕；另一方面在沒有水汽的環(huán)境中供刻蝕釋放的器件不會(huì)出現(xiàn)由于液態(tài)張力而與襯底表面的粘附性失效。
SPTS的HF氫氟酸刻蝕設(shè)備提供多方面的工藝可調(diào)性，客戶可以根據(jù)本身產(chǎn)品的需求在工藝溫度，工藝壓力，各種氣體分壓，各種氣體流量等參數(shù)中選擇最適合的參數(shù)來優(yōu)化產(chǎn)品性能。
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