本系統(tǒng)主要應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 干法蝕刻工藝,比如大面積挖深槽(洞),懸臂梁等結(jié)構(gòu)。
本系統(tǒng)采用無水氟化氫蒸汽(VHF)結(jié)合無水乙醇蒸汽蝕刻能有效的防止上述現(xiàn)象的發(fā)生。由于采取了無水氟化氫氣體的蝕刻方法,使得蝕刻結(jié)構(gòu)較小的部件和深腔部件變得非常容易。
采用PLC和觸摸屏人機(jī)界面,精密控制溫度、流量、壓力等工藝參數(shù),加上特殊設(shè)計(jì)的腔體結(jié)構(gòu)、勻氣機(jī)構(gòu)和晶片旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),可以有效地控制反應(yīng)過程,提高蝕刻均勻性,同時(shí)保持較高的選擇性。