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    包郵 關(guān)注:907

    VHF蝕刻系統(tǒng)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-刻蝕設(shè)備-HF刻蝕設(shè)備

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
    本系統(tǒng)主要應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 干法蝕刻工藝,比如大面積挖深槽(洞),懸臂梁等結(jié)構(gòu)。
    本系統(tǒng)采用無水氟化氫蒸汽(VHF)結(jié)合無水乙醇蒸汽蝕刻能有效的防止上述現(xiàn)象的發(fā)生。由于采取了無水氟化氫氣體的蝕刻方法,使得蝕刻結(jié)構(gòu)較小的部件和深腔部件變得非常容易。
    采用PLC和觸摸屏人機(jī)界面,精密控制溫度、流量、壓力等工藝參數(shù),加上特殊設(shè)計(jì)的腔體結(jié)構(gòu)、勻氣機(jī)構(gòu)和晶片旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),可以有效地控制反應(yīng)過程,提高蝕刻均勻性,同時(shí)保持較高的選擇性。

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    提問:
     

    刻蝕精度多高?刻槽均勻誤差多大?

    sdmm  2017-08-11

    你好:
            關(guān)于刻蝕的精度根據(jù),刻蝕的時(shí)間,跟腔體壓力,工藝氣體的流量有關(guān)系的。
            關(guān)于均勻性與刻蝕速率有關(guān)系,具體參數(shù)請(qǐng)電聯(lián)。。

    2017-08-25

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