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當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 鍍膜設(shè)備 » 電子束蒸發(fā) »iVAC 50高真空電子束蒸發(fā)臺
    •
    包郵 關(guān)注:487

    iVAC 50高真空電子束蒸發(fā)臺

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-電子束蒸發(fā)

    產(chǎn)品品牌

    宏源芯盛

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    中國-江蘇省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：宏源芯盛

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-電子束蒸發(fā)

     應(yīng)用領(lǐng)域：
    　 »半導(dǎo)體晶圓制造 
    »LED 芯片制造 
    »Amplifier
    »光學(xué)鏡
    »功率器件
    »科技研發(fā)

     

    設(shè)備配置: 
    　 »Φ2-8" 圓片及其它形狀的基板
    　 »32"×32" 圓形工藝腔
    　 »16" VAT 高閥組
    　 »加熱溫度500℃，16KW
    　 »1-6 坩堝，可選配
    　 »Austin 冷泵
    　 »3 dome 行星架
    　 »電子槍電源，10-15KW air cooled
    　 »ELO 17" 觸控屏
    　 »10KW電子槍電源
     

    特點： 
    　 »設(shè)備真空 5.0E 10-7Torr 
    »工藝真空 8.0E 10-8Torr 
    »真空速度：2.0E 10-6Torr < 10min（高閥打開） 
    »最高溫度500°C 
    »裝片能力： 
    ·3" 108pcs • 4" 57pcs •5" 39pcs
    ·6" 24pcs • 8" 15pcs 
    »產(chǎn)能：
    ·單位小時= 60/99.3*24=14.496
    ·月產(chǎn)能 = 1440*0.9(PM time)/99.3min*24*30 = 9396
    »均勻性：片內(nèi)，片間，批間 ±3% 
    »Windows XP操作系統(tǒng)，界面友善
    　 »控制面板簡潔、清晰，操控方便
    »全中文操控平臺，更適合國內(nèi)用戶
     

    動力條件：
    　 »電源：VAC208，3相5線 / 50/60Hz，160Amp
    　 »冷卻水：3－5 Gmp
    »壓縮空氣：85－125psig
    　 »氮氣：20－60psigcp-6-1 (1)

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    提問:
     
    問

    你的掃描模式有的是種？電子束一般能控制多大？？

    carmen  2017-07-03

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：

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    4001027270

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