DZS800型電子束鍍膜設(shè)備 沈陽(yáng)鵬程真空
主要用途:
用于制備導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜等,廣泛應(yīng)用于大專院校、科研機(jī)構(gòu)的科研及小批量生產(chǎn)。
系統(tǒng)組成:
系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。
技術(shù)指標(biāo):
極限真空度:≤6.7×10 Pa
恢復(fù)真空時(shí)間:從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
系統(tǒng)漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;
真空室:真空室800x600 x600mm采用U型箱體前開(kāi)門,后置抽氣系統(tǒng)
e型電子槍:陽(yáng)極電壓:8kv、10kv(1套)
坩堝:水冷式坩堝,六穴設(shè)計(jì),每個(gè)容量11ml
功率:0-10KW可調(diào)
電阻蒸發(fā)源(可選)
電壓:5、10V
功率:電流300A,最大輸出功率3Kw1套,可切換水冷電
極3根,組成2個(gè)蒸發(fā)舟
基片尺寸:可放置4″基片
樣品臺(tái):基片可連續(xù)回轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速5-60轉(zhuǎn)/分基片與蒸發(fā)源之間距離300-350mm加熱最高溫度 800°C±1°C,可調(diào)手動(dòng)控制樣品擋板組件1套
氣路系統(tǒng):質(zhì)量流量控制器1路
石英晶振膜厚控制儀:監(jiān)測(cè)膜厚顯示范圍:0-99μ9999Å