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    DZS450型電子束鍍膜設備 沈陽鵬程真空

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-鍍膜設備-電子束蒸發(fā)

    產品品牌

    沈陽鵬程

    庫       存：

    100

    產       地：

    中國-遼寧省

    數       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌：沈陽鵬程

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-鍍膜設備-電子束蒸發(fā)

           DZS450型電子束鍍膜設備 沈陽鵬程真空
     
    　　主要用途：
     
    　　用于制備導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜等，廣泛應用于大專院校、科研機構的科研及小批量生產。
     
    　　系統組成:
     
    　　系統主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統、真空測量、電控系統及安裝機臺等部分組成。
     
    　　技術指標：
     
    　　極限真空度：≤6.7×10 Pa
     
    　　恢復真空時間：從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
     
    　　系統漏率：6. 7×10-7Pa.L/S；
     
    　　真空室：真空室500x500 x600mm采用U型箱體前開門，后置抽氣系統e型電子槍：陽極電壓：6kv、8kv(1套)
     
    　　坩堝：水冷式坩堝，四穴設計，每個容量11ml
     
    　　功率：0-6KW可調
     
    　　電阻蒸發(fā)源(可選)
     
    　　電壓：5、10V
     
    　　功率：電流300A，最大輸出功率3Kw1套，可切換水冷電
     
    　　極3根，組成2個蒸發(fā)舟
     
    　　基片尺寸：可放置4″基片
     
    　　樣品臺：基片可連續(xù)回轉，轉速5-60轉/分基片與蒸發(fā)源之間距離300-350mm加熱最高溫度 800°C±1°C，可調手動控制樣品擋板組件1套
     
    　　氣路系統：質量流量控制器1路
     
    　　石英晶振膜厚控制儀：監(jiān)測膜厚顯示范圍：0-99μ9999Å

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