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4001027270
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆主機(jī)為水平1-4管爐系統(tǒng)構(gòu)架,能獨(dú)立完成不同的工藝或相同工藝
◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門等動(dòng)作進(jìn)行全自動(dòng)控制
◆采用懸臂式或軟著陸式,操作方便、無摩擦污染等
◆關(guān)鍵部件采用進(jìn)口器件,確保設(shè)備的高可靠性
◆工藝管路采用進(jìn)口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染(管路均采用EP級(jí)電拋光管),流量采用進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)控制(MFC)
◆工作壓力閉環(huán)自動(dòng)控制,提高工藝穩(wěn)定性和可靠性
◆控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好
◆具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能
◆高質(zhì)量的加熱爐體,確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命
LPCVD主要技術(shù)指標(biāo)
◆工作溫度:300~
◆適應(yīng)硅片尺寸:2~6英寸
◆裝片數(shù)量:100~200片/管
◆工藝管數(shù)量:1~4管(可選擇)
◆恒溫區(qū)長度: 100
◆極限真空度: 0.14 Pa(約10mtorr)
◆工作真空度: 10 ~ 100Pa可調(diào)
◆淀積膜均勻性:片內(nèi)≤±3%
◆控制系統(tǒng):整機(jī)控制系統(tǒng)采用工業(yè)控制計(jì)算機(jī)(WINDOWS 系統(tǒng)界面,操作方便簡潔)
◆氣源系統(tǒng):進(jìn)口閥管件、自動(dòng)軌道焊接
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