LPCVD產(chǎn)品應(yīng)用：用于4/8英寸多晶硅、氮化硅、氧化硅（或LTO）、SIPOS薄膜生長(zhǎng)工藝及其摻雜（如PSG或BPSG等）
 產(chǎn)品名稱： LPCVD系列 |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體 |
| 關(guān) 鍵 字：LPCVD |
| 產(chǎn)品咨詢電話：4008-110044 |
| 產(chǎn)品詳細(xì)描述： |
LPCVD產(chǎn)品應(yīng)用：用于4/8英寸多晶硅、氮化硅、氧化硅（或LTO）、SIPOS薄膜生長(zhǎng)工藝及其摻雜（如PSG或BPSG等）
LPCVD產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，對(duì)爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門等動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制
◆采用懸臂送片器，操作方便、無摩擦污染等
◆關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口，確保設(shè)備的高可靠性
◆工藝管路采用進(jìn)口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染（管路均采用EP級(jí)電拋光管），流量控制采用進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)（MFC）
◆工作壓力閉環(huán)自動(dòng)控制，提高工藝穩(wěn)定性和可靠性
◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好
◆具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能
◆高質(zhì)量的加熱爐體，確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長(zhǎng)壽命
LPCVD主要技術(shù)指標(biāo)：
◆工作溫度：300～1000℃
◆適應(yīng)硅片尺寸：2～6英寸
◆裝片數(shù)量：30～100片/管
◆工藝管數(shù)量：1～3管（可選擇）
◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度： 800mm±1℃（熱壁式，可形成溫度梯度）
◆極限真空度： 8.0× 10
-1 Pa（約6.0× 10
-3Torr）
◆工作真空度： 10 ～ 1000Pa可調(diào)
◆淀積膜均勻性：片內(nèi)≤±1%
◆控制系統(tǒng)：整機(jī)控制系統(tǒng)采用工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（WINDOWS 系統(tǒng)界面，操作方便簡(jiǎn)潔）
◆氣源系統(tǒng)：進(jìn)口閥管件、自動(dòng)軌道焊接
歡迎索取相應(yīng)詳盡的技術(shù)資料及共研相應(yīng)項(xiàng)目的解決方案。
青島精誠華旗（“華旗科技”）擁有十幾年的專業(yè)研發(fā)制造經(jīng)驗(yàn)，產(chǎn)品服務(wù)廣泛應(yīng)用于行業(yè)內(nèi)的大專院校科研院所、半導(dǎo)體制造、高性能磁性材料制造的企業(yè)工廠等。
青島精誠華旗（“華旗科技”）擁有精良的科研、設(shè)計(jì)、制造、服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為中國電子專用設(shè)備協(xié)會(huì)、中國磁性材料與器件協(xié)會(huì)等多家協(xié)會(huì)會(huì)員單位，承接并出色完成了一系列國家重點(diǎn)項(xiàng)目的專用設(shè)備的設(shè)計(jì)制造。
2006年通過GB/T19001-2008(ISO9001:2008)質(zhì)量管理體系認(rèn)證。
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