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4001027270
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高檔半自動擴(kuò)膜機(jī)（伺服電機(jī)式）
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該晶圓擴(kuò)膜機(jī)是用于常規(guī)切割或激光切割制程之后，將膜均勻拉伸，從而使切割后的晶粒分離,并均勻拉開一定距離的設(shè)備，擴(kuò)膜動力采用伺服電機(jī)驅(qū)動滾珠絲桿擴(kuò)膜，擴(kuò)膜高度及速度可在配置的觸摸屏中參數(shù)化進(jìn)行設(shè)置。
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型號
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SSE-100
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Wafer尺寸
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8英寸及以下尺寸
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frame尺寸
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8英寸(可根據(jù)客戶環(huán)定制)
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膠膜(須具備較好的延展性)
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藍(lán)膜或UV膜；厚度0.05mm~0.15mm
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擴(kuò)晶環(huán)
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內(nèi)環(huán)：客戶指定
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外環(huán)：客戶指定
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人機(jī)界面
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觸摸屏（設(shè)定擴(kuò)膜速度和擴(kuò)膜高度等參數(shù)）
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控制系統(tǒng)
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PLC
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擴(kuò)膜高度
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行程18~50mm，參數(shù)化設(shè)定，精度±0.1mm
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擴(kuò)膜速度
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1~15mm/s范圍內(nèi)任意設(shè)定
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擴(kuò)膜方式
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松下伺服電機(jī)驅(qū)動精密滾珠絲桿
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工作臺
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加熱式工作臺，室溫~100℃可設(shè)定
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工作效率
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45-50片/小時
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frame定位
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定位銷
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擴(kuò)膜環(huán)外膜的處理
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手工切割
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靜電消除裝置
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左右分布兩個離子風(fēng)扇
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硅渣處理
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集料盤
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翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
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速度可以調(diào)節(jié)（精密日本東方無刷馬達(dá)）
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設(shè)備窗口
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安裝光柵保護(hù)
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設(shè)備外殼
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不銹鋼防護(hù)罩/單側(cè)開門
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設(shè)備形式
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落地式
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擴(kuò)膜選項
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通過觸摸屏可以選擇直立或翻轉(zhuǎn)擴(kuò)膜模式
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供電
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220 V；50/60 Hz；5A
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供氣
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0.5MPa 干燥壓縮空氣
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外形尺寸
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780mm (寬) × 1100mm (深) ×1800mm（高)
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凈重
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110Kg
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電器元件
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松下，OMRON,東方馬達(dá)等品牌
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氣動元件
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日本小金井，SMC等品牌
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機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)件
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HIWIN精密級，MISUMI等品牌
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操作方式
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采用常規(guī)的正面放產(chǎn)品和擴(kuò)膜環(huán)方式，方便操作，擴(kuò)膜系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)180度后進(jìn)行擴(kuò)膜，擴(kuò)膜完成后，自動旋轉(zhuǎn)回正面，方便取下產(chǎn)品
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