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    包郵 關(guān)注:530

    翻轉(zhuǎn)擴膜機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-劃片設(shè)備-其他

    產(chǎn)品品牌

    海展

    規(guī)格型號：

    8寸

    發(fā)貨期限：

    60天天

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    中國-上海市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥300000.00
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    品牌：海展

    型號：8寸

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-劃片設(shè)備-其他


    高檔半自動擴膜機（伺服電機式）
    該晶圓擴膜機是用于常規(guī)切割或激光切割制程之后，將膜均勻拉伸，從而使切割后的晶粒分離,并均勻拉開一定距離的設(shè)備，擴膜動力采用伺服電機驅(qū)動滾珠絲桿擴膜，擴膜高度及速度可在配置的觸摸屏中參數(shù)化進行設(shè)置。
    型號
    SSE-100
    Wafer尺寸
    8英寸及以下尺寸
    frame尺寸
    8英寸(可根據(jù)客戶環(huán)定制)
    膠膜(須具備較好的延展性)
    藍膜或UV膜；厚度0.05mm~0.15mm
    擴晶環(huán)
    內(nèi)環(huán)：客戶指定
    外環(huán)：客戶指定
    人機界面
    觸摸屏（設(shè)定擴膜速度和擴膜高度等參數(shù)）
    控制系統(tǒng)
    PLC
    擴膜高度
    行程18~50mm，參數(shù)化設(shè)定，精度±0.1mm
    擴膜速度
    1~15mm/s范圍內(nèi)任意設(shè)定
    擴膜方式
    松下伺服電機驅(qū)動精密滾珠絲桿
    工作臺
    加熱式工作臺，室溫~100℃可設(shè)定
    工作效率
    45-50片/小時
    frame定位
    定位銷
    擴膜環(huán)外膜的處理
    手工切割
    靜電消除裝置
    左右分布兩個離子風(fēng)扇
    硅渣處理
    集料盤
    翻轉(zhuǎn)機構(gòu)
    速度可以調(diào)節(jié)（精密日本東方無刷馬達）
    設(shè)備窗口
    安裝光柵保護
    設(shè)備外殼
    不銹鋼防護罩/單側(cè)開門
    設(shè)備形式
    落地式
    擴膜選項
    通過觸摸屏可以選擇直立或翻轉(zhuǎn)擴膜模式
    供電
    220 V；50/60 Hz；5A
    供氣
    0.5MPa 干燥壓縮空氣
    外形尺寸
    780mm (寬) × 1100mm (深) ×1800mm（高)
    凈重
    110Kg
    電器元件
    松下，OMRON,東方馬達等品牌
    氣動元件
    日本小金井，SMC等品牌
    機械標準件
    HIWIN精密級，MISUMI等品牌
    操作方式
    采用常規(guī)的正面放產(chǎn)品和擴膜環(huán)方式，方便操作，擴膜系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)180度后進行擴膜，擴膜完成后，自動旋轉(zhuǎn)回正面，方便取下產(chǎn)品

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