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半自動(dòng)劃片晶圓貼膜機(jī)

(型號(hào):SWM-100)

技術(shù)參數(shù)

主要規(guī)格

1.1 框架尺寸: 6或8英寸（DISCO標(biāo)準(zhǔn)）客戶指定

1.2 膜種類(lèi): 藍(lán)膜或者UV膜

寬度: 230毫米（6英寸框架）300毫米（8英寸框架）

長(zhǎng)度: 100米

厚度: 0.05~0.2毫米

1.3 晶圓規(guī)格： 4，5，6，8英寸客戶指定

1.4 晶圓厚度: 200-750um

1.4 貼膜原理: 防靜電滾輪貼膜（自動(dòng)貼膜）

1.5 工作臺(tái)盤(pán): 特氟隆涂層接觸式臺(tái)盤(pán)（工作臺(tái)有加熱,溫度為:常溫-120°C）

1.6 裝卸方式: 產(chǎn)品手動(dòng)放置與取出

1.7 切割系統(tǒng): 直線刀切割僅在框架以外5毫米處，圓切割刀順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)切割。

獨(dú)特的直切刀技術(shù)保證在同類(lèi)機(jī)臺(tái)膠膜應(yīng)用最節(jié)省

1.8產(chǎn)品定位: CHUCK TABLE上對(duì)應(yīng)WAFER形狀的刻線,真空吸固定WAFER

1.9電力供應(yīng): 單相交流電220V,5A

1.10壓縮空氣: 5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺

1.11體積: 560毫米(寬)*860毫米(深)*510毫米(高)

1.12凈重: 75公斤

2.1 晶圓收益: >=99.9%

2.2 貼膜質(zhì)量: 沒(méi)有氣泡(不包括碎粒氣泡)

2.3 每小時(shí)產(chǎn)能: >=80 片

培訓(xùn)及驗(yàn)收保修條款其他說(shuō)明

半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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