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    GXZ15.2B兩軸斜軸球面精磨拋光機

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-拋光機

    庫       存：

    100

    產       地：

    中國-江蘇省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-拋光機

     GXZ15.2B  兩軸斜軸球面精磨拋光機
    （主軸、擺軸單獨分開變頻調速）

       用于球面鏡的研磨和拋光，氣動加壓，主軸內外噴液系統(tǒng)。最大特點是主軸可任意傾斜30°傾角，是全新型產品。

     

    主要技術參數(shù)：

    Main technical specification

    加工范圍

    Processing scope

    ≤Φ150mm

    　

    曲率半徑

    Curvature rad.

    R≥5mm

    水盆直徑

    Tank dia.

    360×360（mm）

    主軸轉速

    Main axle rolling speed

    50～500轉/分

    50～500 RPM

    主軸錐度

    Main axle conicity

    M27×3 (根據(jù)用戶需要)

    M27×3(as required)

    主軸精度

    Precision of main axle

    ≤0.02mm

    擺   幅

    Swing amplitude

    0～120mm

    擺架轉次

    Swing shelf swing times

    20～150次/分

    20～150 times/min

    總  功  率

    Total power

    3 KW

    主軸數(shù)

    Amount of main axle

    2

    主軸傾斜角度Spindle tilt angle

    0～30°

    氣  壓

    Air Pressure

    ≥0.6MPa

    外形尺寸

    Size

    1460×1000×1800（mm）

    重      量

    Weight

    約600kg

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