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X62 S36D-T型拋光機
產(chǎn)品簡介:本機是我公司新一代單面拋光機,主要用于φ50-φ150mm藍寶石、電子材料半導體硅片、鍺片、計算機磁盤基片以及光學材料等金屬、非金屬硬脆材料的單面高精度拋光加工。
主要特點:
2.1主拋盤和上拋頭均設有強制冷卻(可選配冷水機),采用紅外測溫、閉環(huán)控溫;四個研磨頭采用變頻調速主動轉動,上拋頭的壓力用電氣比例閥調控實現(xiàn)了多段壓力控制,可大區(qū)段自動加壓,最大壓力可達450g/cm2;
2.2在控制上采用了工控機控制,靈敏性好,反饋迅速控制精確,且能滿足各種特定工藝的需求,操作方便,顯示豐富;
2.3電氣控制器件采用國外品牌(OMRON 、Raytek、和泉及施耐德等),可靠穩(wěn)定;
2.4主傳動采用了椿本的環(huán)面包絡蝸輪蝸桿減速箱,四個研磨頭采用了臺灣利明減速電機驅動,運轉平穩(wěn)壽命長;
2.5主支座支撐處裝有四個減震器,很好的保證了各種工況下上下盤間的平行度,保證了加工質量。
2.6采用磁力驅動泵輸送拋光液,出液口配有分液裝置及沉淀水槽;配有沖洗開關水槍;
主要技術參數(shù):
下拋盤尺寸 |
φ914mm (SUS410) |
拋頭數(shù)量 |
4個(φ360mm ) |
主電機 |
15kW |
拋頭電機 |
0.75kw×4 |
下研磨盤轉速 |
0-90rpm(調頻調速) |
上拋頭轉速 |
0-90rpm(調頻調速) |
加工能力 |
80片/φ50mm, 28片/φ100mm |
最小加工厚度 |
0.2mm |
外型尺寸 |
1360mm (W)×2412mm (D)×2799 mm (H) |
重量 |
約4000kg |
產(chǎn)品選配表:
拋頭電機 |
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上下盤水冷 |
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下盤電機 |
● |
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全裸結構 |
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水冷機 |
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○ |
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機械手 |
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○ |
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陶瓷盤 |
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○ |
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●標配 ○可選裝
使用環(huán)境:
1) 設備應安裝在地面平坦,遠離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。
2) 溫度10℃-25℃
3) 相對濕度≦95
4) 電源電壓AC 380V ,50Hz
5) 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa(必須為干燥的清潔空氣)
6)冷卻水水壓:2kgf/cm2 以下
水量:15L/min 溫度:7~12℃
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