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    包郵 關(guān)注:761

    自動減薄機(jī)對工件盤上的工件進(jìn)行減薄,加工各種半導(dǎo)體材料的加工

    產(chǎn)品品牌

    北京特思迪

    規(guī)格型號：

    自動減薄機(jī)

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    ￥10000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：北京特思迪

    型號：自動減薄機(jī)

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-拋光機(jī)

    自動減薄機(jī)對工件盤上的工件進(jìn)行減薄,加工各種半導(dǎo)體材料的加工

    型號：HRG-150，VRG-250/300/500

     設(shè)備概敘：該設(shè)備有臥式和立式兩種主軸結(jié)構(gòu)，工作時(shí)砂輪與工件盤同時(shí)旋轉(zhuǎn)，并通過砂輪軸的Z方向運(yùn)動（進(jìn)給由伺服電機(jī)控制），實(shí)現(xiàn)對工件盤上的工件進(jìn)行減薄加工，適合于各種半導(dǎo)體材料的加工。

     應(yīng)用領(lǐng)域：

    半導(dǎo)體材料：Si、Ge、GaAs、SiC、Sapphire、InP、GaN、MEMS、紅外材料等；

    晶體材料： 陶瓷基板、壓電晶體、光學(xué)玻璃、電子陶瓷、PDD、濾波材料等。

     設(shè)備特點(diǎn)：

    l  采用金剛石砂輪，加工效率高；

    l  自動砂輪修整裝置，實(shí)現(xiàn)對砂輪平面修整；

    l  多段式加工程序，加工產(chǎn)品表面損傷低和翹曲度??；

    l  多種加工程序的存儲，實(shí)現(xiàn)多種規(guī)格和不同材料產(chǎn)品的加工；

    l  友好的人機(jī)界面對話，操作簡單、方便；

    l  可選配在線厚度測量裝置。

     

    設(shè)備規(guī)格

    型號

    HRG-150

    VRG-250

    VRG-300

    VRG-500

    最大產(chǎn)品尺寸

    6英寸

    250mm

    300mm

    500mm

    砂輪轉(zhuǎn)速(RPM)

    0   - 3000

    0   - 3000

    0   - 3000

    0   - 3000

    工作盤轉(zhuǎn)速(RPM)

    0-400

    0-260

    0-260

    0-260

    砂輪最大行程(mm)

    70

    100

    100

    100

    研磨速度(μm/sec)

    0.1   - 1000

    0.1   - 1000

    0.1   - 1000

    0.1   - 1000

    移動量分辨率(μm)

    0.1

    0.1

    0.1

    0.1

    精度(±μm)

    1

    1

    1

    2

    重復(fù)精度(±μm)

    1

    1

    1

    1

    在線厚度測量

    可選

    可選

    可選

    可選

    自動砂輪修整

    可選

    可選

    可選

    可選

    設(shè)備尺寸(mm)

    1400x780x1520

    1100x950x1970

    1200x1050x1970

    1300x1400x2100

    設(shè)備重量(Kg)

    1400

    1500

    2000

    3000


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    提問:
     
    問

    請問鍵合的硅片最小厚度是多少，四寸片一般能減薄到多少？

    caoweihuo  2017-07-11

    答

     需要看您這邊加工的產(chǎn)品類型以加工要求，詳細(xì)請聯(lián)系陳經(jīng)理：15210097854 謝謝！

    2017-07-27

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

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