網(wǎng)站首頁(yè)

|EN

當(dāng)前位置: 首頁(yè) » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 晶圓減薄拋光設(shè)備 » 拋光機(jī) »X62 D22B4M-T-1型雙面拋光機(jī)
    包郵 關(guān)注:576

    X62 D22B4M-T-1型雙面拋光機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    赫瑞特(蘭州瑞德)

    規(guī)格型號(hào):

    22B雙面拋光機(jī)

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:赫瑞特(蘭州瑞德)

    型號(hào):22B雙面拋光機(jī)

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-拋光機(jī)

                          新技術(shù)原理 新設(shè)計(jì)構(gòu)思研制  模塊化組合 易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)                       

    X62 D22B4M-T-1拋光機(jī)技術(shù)規(guī)格書(shū)

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介:本機(jī)我公司新一代拋光機(jī),主要用于硅片、寶石、光學(xué)玻璃、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面拋光,也用于其它硬脆材料的雙面高精度拋光加工。

    主要特點(diǎn):

    2.1采用四電機(jī)同步拖動(dòng),變速范圍更廣,能適應(yīng)不同拋光材料及拋光工藝的要求;可實(shí)現(xiàn)快速修盤(pán)功能,提高生產(chǎn)效率。

    2.2 加載壓力更大,滿(mǎn)足大壓力加工工藝需求,最大壓力可達(dá)2000kg。

    2.3太陽(yáng)輪與內(nèi)齒圈同步抬升,滿(mǎn)足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求。

    2.4上下拋光盤(pán)采用斜齒輪傳動(dòng),并且整機(jī)采用全齒輪傳動(dòng),運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。

    2.5采用工控機(jī)控制,人機(jī)界面顯示運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)及參數(shù)設(shè)置,壓力采用電-氣比例閥與壓力傳感器閉環(huán)反饋控制,壓力轉(zhuǎn)換過(guò)程實(shí)現(xiàn)了線(xiàn)性控制。用戶(hù)可根據(jù)拋光工藝進(jìn)行設(shè)置,壓力控制精度高,相應(yīng)速度快。

    2.6變頻器配合異步電機(jī)拖動(dòng),實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng),軟停止,調(diào)速穩(wěn)定,沖擊小。

    2.7應(yīng)用人機(jī)界面(PT)與工控機(jī)通訊,一方面顯示運(yùn)行參數(shù),另一方面通過(guò)其觸摸鍵調(diào)整、設(shè)定各項(xiàng)工藝參數(shù),主操作由面板鍵鈕完成。

    2.8采用集中潤(rùn)滑裝置,各相對(duì)運(yùn)動(dòng)表面、齒輪嚙合部位、鏈輪都可得到充分潤(rùn)滑,大大提高了整機(jī)的使用壽命。

    2.9該設(shè)備的主要外購(gòu)件采用進(jìn)口件,保證了各項(xiàng)性能的高指標(biāo)。

    2.10本機(jī)整體為底板龍門(mén)式結(jié)構(gòu),更高支撐剛度和穩(wěn)定性。上拋光盤(pán)上升到最高位置后由橫梁上鎖定氣缸通過(guò)安全鉤自動(dòng)鎖定,安全可靠穩(wěn)定。

    2.11 設(shè)備具有兩級(jí)液壓抬升機(jī)構(gòu)。一級(jí)抬升用于齒圈太陽(yáng)輪升降,行程約35mm;二級(jí)抬升用于設(shè)備檢修,下盤(pán)主體整體抬升,最大行程280mm。

    2.12 上下拋光盤(pán)采用特殊的水冷通道及拋盤(pán)結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了上下拋光盤(pán)的強(qiáng)制冷卻,結(jié)合多點(diǎn)溫度監(jiān)測(cè),實(shí)現(xiàn)對(duì)上下拋光盤(pán)溫度的精確控制;

    2.13 游輪采用銷(xiāo)齒傳動(dòng),提高了嚙合強(qiáng)度和接觸剛度,同時(shí)降低了齒圈太陽(yáng)輪的維護(hù)難度和維護(hù)成本;

    2.14上盤(pán)采用最新的“浮動(dòng)”連接裝置,調(diào)心靈活,解決了錯(cuò)盤(pán)問(wèn)題。

    主要技術(shù)參數(shù):

    拋光盤(pán)尺寸

    φ1495mm×φ462mm×75mm(帶水冷基盤(pán))

    齒圈參數(shù)

    Z=264     PCD=φ1532.6     (銷(xiāo)齒)

    太陽(yáng)輪參數(shù)

    Z=74      PCD=φ424.2      (銷(xiāo)齒)

    游星輪參數(shù)

    Z=95      PCD=φ550       (銷(xiāo)齒)

    最小拋光厚度

    0.40mm

    加工能力

    85片/φ100mm, 35片/φ150mm

    下盤(pán)轉(zhuǎn)速

    0-60rpm

    下盤(pán)電機(jī)

    30kW    AC380V      1470rpm

    上盤(pán)電機(jī)

    22kW    AC380V      1470 rpm

    太陽(yáng)輪電機(jī)

    5.5kW    AC380V      1440rpm

    齒圈電機(jī)

    11kW     AC380V      1460rpm

    三相電泵

    1/4HP     AC380V      70L/min

    外型尺寸

    2870㎜×1830㎜×2880㎜

    重量

    約8500kg

    產(chǎn)品選配表:

    上盤(pán)電機(jī)

    上盤(pán)平衡裝置

    下盤(pán)電機(jī)

    龍門(mén)結(jié)構(gòu)

    太陽(yáng)輪電機(jī)

    全裸結(jié)構(gòu)

    齒圈電機(jī)

    充氮

    上下盤(pán)水冷

    防結(jié)晶吹氣

    水冷機(jī)

    機(jī)械手

    液壓軸承

     

     

         注:●標(biāo)配  ○可選裝

     

    使用環(huán)境:

       設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,厚度應(yīng)大于300mm,遠(yuǎn)離振動(dòng)源,無(wú)灰塵煙霧污染的場(chǎng)所。

        a、溫度10℃-25℃

        b、相對(duì)濕度≦95%

    c、電源電壓AC380V ,50Hz

    d、壓縮空氣源 0.5-0.6MPa(干燥的清潔空氣)

        e、冷卻水 10-20℃,0.15-0.2MPa

    基本配置:

    氣動(dòng)元件

    SMC、亞德客等

    主減速器

    椿本

    軸承

    國(guó)產(chǎn)

    工控機(jī)

    赫瑞特智控

    人機(jī)界面

    赫瑞特智控

    拉力傳感器

    國(guó)產(chǎn)

    變頻器

    施耐德

    低壓電器

    213、魏德米勒等

    旋鈕開(kāi)關(guān)、電器開(kāi)關(guān)

    213、和泉等

    電機(jī)

    國(guó)產(chǎn)

    整機(jī)精度指標(biāo)

    下盤(pán)平面度小于0.04mm;

    下盤(pán)端面跳動(dòng)小于0.08mm;

    咨詢(xún)

    購(gòu)買(mǎi)之前,如有問(wèn)題,請(qǐng)向我們咨詢(xún)

    提問(wèn):
     

    厚度偏差能達(dá)到±0.005嗎??氣壓是幾兆帕的??

    losaners2016  2017-08-17

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類(lèi)產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線(xiàn)

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號(hào)