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    包郵 關(guān)注:275

    X62 D16S-W型雙面拋光機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    赫瑞特(蘭州瑞德)

    規(guī)格型號(hào):

    16S雙面拋光機(jī)

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:赫瑞特(蘭州瑞德)

    型號(hào):16S雙面拋光機(jī)

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-拋光機(jī)

     

    X62 D16S-W型拋光機(jī)技術(shù)規(guī)格書(shū)

    一、產(chǎn)品用途

    本設(shè)備主要用于光學(xué)玻璃、陶瓷,硅片、鍺片、計(jì)算機(jī)磁盤(pán)基片等電子材料及其他硬脆材料的雙面高精度拋光加工,適用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸規(guī)格異形平行平面材料的雙面精密拋光加工。

    二、主要特點(diǎn)

    2.1整機(jī)采用龍門(mén)結(jié)構(gòu),主體采用箱形結(jié)構(gòu),整體剛性好。

    2.2采用四動(dòng)作拋光機(jī)理,實(shí)現(xiàn)對(duì)工件非強(qiáng)制性的約束方式,因此在拋光過(guò)程中零件不易破損。

    2.3、加壓系統(tǒng)分成輕壓、 中壓、重壓和修正(輕壓)四個(gè)階段,廣泛適用于各行業(yè)用戶的加工需求。

    2.4、本機(jī)采用下盤(pán)升降方式,升降極限位置可調(diào),滿足了取放片及游輪嚙合位置改變的要求。

    2.5、采用三相交流異步電機(jī),變頻調(diào)速,起動(dòng)及停車(chē)平穩(wěn),無(wú)沖擊。

    2.6、設(shè)備采用程序控制,設(shè)定好時(shí)間、壓力段,屆時(shí)自動(dòng)停車(chē)。因此,一人可同時(shí)操作多臺(tái)機(jī)器。

    2.7、本設(shè)備電氣通過(guò)PLC控制,四行文本顯示器顯示。

    2.8、采用全齒輪傳動(dòng)方式,傳動(dòng)平穩(wěn),可靠性高。

    三、主要技術(shù)參數(shù)

    3.1、拋光盤(pán)尺寸:φ1155mm×φ349mm×50mm

    3.2、 游星片參數(shù):英制:齒數(shù)Z=200  模數(shù)DP12  α=20°

    3.3、游星片數(shù)量:5片

    3.4、修正輪數(shù)量:4個(gè)

    3.5、加工能力:   85片/φ75mm,40片/φ100mm,20片/φ150mm

    3.6、下拋光盤(pán)轉(zhuǎn)速:0~60rpm

    3.7、整機(jī)功率:

    主電機(jī):15kW、AC380V、1460rpm、50Hz

    砂泵:  1/4HP 70L/min。

    3.8、設(shè)備外形尺寸(長(zhǎng)×寬×高):2000mm×1400mm×2670mm

    3.9、設(shè)備質(zhì)量:約5500Kg

    四、基本配置

    4.1、氣缸:                           SMC、嘉貿(mào)等  

    4.2、精密減壓閥:                    SMC

    4.3、電磁閥                          MAC

    4.4、減速箱:                         國(guó)產(chǎn)

    4.5、PLC及文本:                     臺(tái)達(dá)

    4.6、變頻器:                         施耐德

    4.7、軸承:                           國(guó)產(chǎn)

    五、精度指標(biāo)

    5.1、下拋盤(pán)端面跳動(dòng)0.08mm;

    5.2、上、下拋光盤(pán)平面度0.03mm。

    六、設(shè)備的安裝

       設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦、安裝厚度應(yīng)大于300mm,遠(yuǎn)離振動(dòng)源,無(wú)灰塵煙霧污染的場(chǎng)所。

        a 溫度10℃-25℃

        b 相對(duì)濕度≦95%

    c 電源電壓AC380V ,50Hz

    d、壓縮空氣源 0.5-0.6MPa(干燥的清潔空氣)

        e、冷卻水 10-20℃、0.15-0.2MPa

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