服務熱線
4001027270
一、產(chǎn)品用途
本設備主要用于光學玻璃、陶瓷,硅片、鍺片、計算機磁盤基片等電子材料及其他硬脆材料的雙面高精度拋光加工,適用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸規(guī)格異形平行平面材料的雙面精密拋光加工。
二、主要特點
2.1整機采用龍門結構,主體采用箱形結構,整體剛性好。
2.2采用四動作拋光機理,實現(xiàn)對工件非強制性的約束方式,因此在拋光過程中零件不易破損。
2.3、加壓系統(tǒng)分成輕壓、 中壓、重壓和修正(輕壓)四個階段,廣泛適用于各行業(yè)用戶的加工需求。
2.4、本機采用下盤升降方式,升降極限位置可調,滿足了取放片及游輪嚙合位置改變的要求。
2.5、采用三相交流異步電機,變頻調速,起動及停車平穩(wěn),無沖擊。
2.6、設備采用程序控制,設定好時間、壓力段,屆時自動停車。因此,一人可同時操作多臺機器。
2.7、本設備電氣通過PLC控制,四行文本顯示器顯示。
2.8、采用全齒輪傳動方式,傳動平穩(wěn),可靠性高。
三、主要技術參數(shù)
3.1、拋光盤尺寸:φ1155mm×φ349mm×50mm
3.2、 游星片參數(shù):英制:齒數(shù)Z=200 模數(shù)DP12 α=20°
3.3、游星片數(shù)量:5片
3.4、修正輪數(shù)量:4個
3.5、加工能力: 85片/φ75mm,40片/φ100mm,20片/φ150mm
3.6、下拋光盤轉速:0~60rpm
3.7、整機功率:
主電機:15kW、AC380V、1460rpm、50Hz
砂泵: 1/4HP 70L/min。
3.8、設備外形尺寸(長×寬×高):2000mm×1400mm×2670mm
3.9、設備質量:約5500Kg
四、基本配置
4.1、氣缸: SMC、嘉貿(mào)等
4.2、精密減壓閥: SMC
4.3、電磁閥 MAC
4.4、減速箱: 國產(chǎn)
4.5、PLC及文本: 臺達
4.6、變頻器: 施耐德
4.7、軸承: 國產(chǎn)
五、精度指標
5.1、下拋盤端面跳動0.08mm;
5.2、上、下拋光盤平面度0.03mm。
六、設備的安裝
設備應安裝在地面平坦、安裝厚度應大于300mm,遠離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。
a 溫度10℃-25℃
b 相對濕度≦95%
c 電源電壓AC380V ,50Hz
d、壓縮空氣源 0.5-0.6MPa(干燥的清潔空氣)
e、冷卻水 10-20℃、0.15-0.2MPa
購買之前,如有問題,請向我們咨詢