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    X62 D15B2M-7S-1型雙面拋光機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-拋光機

    產(chǎn)品品牌

    赫瑞特(蘭州瑞德)

    規(guī)格型號:

    15B-7雙面拋光機

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:赫瑞特(蘭州瑞德)

    型號:15B-7雙面拋光機

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-拋光機

     X62 D15B2M-7S-1雙面拋光機技術(shù)規(guī)格書

    一、產(chǎn)品用途

    本機是手機視窗玻璃、計算機觸摸屏、光學(xué)玻璃等非金屬硬脆材料的高精度雙面拋光加工專用設(shè)備,也可用于半導(dǎo)體硅片、陶瓷、計算機支架零件等金屬與非金屬硬脆材料異形平行平面材料的雙面拋光加工。

    二、主要特點

    2.1可拓展性強:后期通過定制不同的上下盤、太陽輪等零部件可實現(xiàn)5S與6S等設(shè)備之間的相互轉(zhuǎn)換,可滿足對尺寸不大于290mm、320mm、360mm等工件的雙面高精度拋光加工。

    2.2產(chǎn)能大:單臺設(shè)備的產(chǎn)能較以往的13B設(shè)備提高了20%,生產(chǎn)率得到了大幅度的提升。

    2.3可維護(hù)性強:整機采用扣板骨架包裸結(jié)構(gòu),去除各門板后主體結(jié)構(gòu)完全裸露于施工者,拆卸維護(hù)方便。

    2.4操作簡單方便:本機設(shè)有自動與手動兩種操作模式,設(shè)定好壓力、速度、時間后設(shè)備即按即定的程序運行,到時自動停機。也可采用計數(shù)程序控制(訂購時需注明)模式,到預(yù)定值時自動停機,一人可同時操作多臺設(shè)備。

    2.5速比設(shè)置合理:整機采用雙電機聯(lián)合拖動方式,即上下盤及內(nèi)齒圈、太陽輪分別由不同的電機拖動,配合變頻調(diào)速系統(tǒng),速比調(diào)整范圍更寬,可根據(jù)不同行業(yè)、不同材料對設(shè)備的加工工藝要求進(jìn)行速比的合理搭配,工藝適應(yīng)性好,通過速比的合理設(shè)置,提高了設(shè)備運轉(zhuǎn)同步性。

    2.6使用壽命長:整機配套四點自動潤滑裝置,可設(shè)定周期性的對運動部件(齒輪副)進(jìn)行自動潤滑,大大提高了設(shè)備的使用壽命,維護(hù)方便。

    2.7結(jié)構(gòu)緊湊體積?。撼浞挚紤]了設(shè)備的安裝條件,通過優(yōu)化結(jié)構(gòu)滿足了體積小、重量輕的現(xiàn)代工業(yè)機械標(biāo)準(zhǔn),可滿足加工廠房空間不小于8m2任一樓層安裝的條件。

    三、主要技術(shù)參數(shù)

    3.1拋光盤尺寸:

    Ø 拋光機:φ1041mm×φ457mm×50mm(鑄鐵)

    3.2游星片參數(shù):齒數(shù)Z=147  模數(shù)DP12  α=20°

    3.3游星片數(shù)量:7片

    3.4修正輪數(shù)量:4個

    3.5最小拋光厚度: 0.2mm/φ50mm

    3.6最大拋光直徑:φ240mm

    3.7下拋光盤轉(zhuǎn)速:0~60rpm

    3.8 加工能力 :   126片/φ50mm,35片/φ100mm,21片/φ125mm

    3.9整機功率:

    Ø 主傳動拖動電機

    11kW、AC380V、1460rpm、50Hz

    Ø 太陽輪電機

    2.2kW、AC380V、1430rpm、50Hz

    Ø 供液泵功率:1/4HP,流量:70L/min。

    3.10設(shè)備外形尺寸(長×寬×高):1740mm×1220mm×2590mm

    3.11設(shè)備質(zhì)量:約3300kg

    四、設(shè)備主要配置

    4.1氣動元件                          MAC、SMC

    4.2減速機                            杭州恒星

    4.3軸承                        哈瓦洛軸

    4.4關(guān)節(jié)軸承                          福建龍溪

    4.5可編程控制器〔PLC〕               臺達(dá)  

    4.6人機界面〔PT〕                    臺達(dá)

    4.7開關(guān)電源                          臺達(dá)

    4.8變頻器                     施耐德

    4.9旋鈕開關(guān)                          和泉

    4.10低壓電器                         213廠、施耐德

    4.11電機                             國產(chǎn)

    五、 設(shè)備總體技術(shù)要求

    5.1 下盤平面度<0.035mm

    5.2  下盤端面跳動<0.06mm

    六、設(shè)備的安裝及使用條件

    6.1、 設(shè)備箱體上裝有四個起吊柱,專門用于設(shè)備搬運時吊裝,設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,遠(yuǎn)離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。

        設(shè)備安裝的條件為:

          a、溫度10℃-25℃

          b、相對濕度≤95%

          c、電源電壓AC380V±38V(三相五線制)

       d、壓縮空氣源 0.5-0.6MPa(干燥的清潔空氣)

          e、冷卻水 10-20℃,0.15-0.2MPa

    6.2、設(shè)備可直接放在地板上,調(diào)整六個地腳螺栓可校正設(shè)備的水平,校正時,用水平儀在下研盤上檢測(即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正),其水平應(yīng)調(diào)至0.06/1000mm。

     

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