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一、 用途和特點
1.1、本機主要用于藍寶石、彩色濾光片、硅片、陶瓷片、石英晶體及其他半導體材料的雙面拋光,也可用于其它硬脆材料的雙面高精度拋光。
1.2、高性能變頻器配合三相異步電動機拖動,實現(xiàn)了設備的軟啟動、軟停止等功能,調速穩(wěn)定、 沖擊?。?/p>
1.3、采用PLC控制,PT人機界面顯示設備各項運行參數(shù)。采用電氣比例減壓閥電控調節(jié)正壓(輸出壓力因輸入電壓的變化而平滑地改變),選用荷重傳感器時時檢測工件受力,并將信號反饋給控制單元構成壓力的閉環(huán)控制,壓力控制精確。
1.4、采用雙電機同步拖動,中心齒輪的變速(即可正轉,也可反轉)范圍廣,工藝調整方便;
1.5、該機可由用戶設定存貯多套不同的工藝參數(shù)(壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等),以供操作工調用。
1.6、該機具有拋光盤自動稱重功能,以此配合拋光壓力設定,從而保證了同樣拋光工藝參數(shù)(所設壓力、時間、速度以及拋光液粒度、濃度、流量)的拋光效率長久不變.
1.7、該機的太陽輪既可正轉運行,也可反轉運行(相對于齒圈和下拋光盤, 人機界面首屏上選定)。
二、主要技術參數(shù)
2.1、 拋光盤尺寸(外徑×內徑×厚度):Φ933mm×Φ349mm×45mm
2.2、游星輪規(guī)格: Z=147 DP12 α=20°
2.3、游星輪數(shù)量: 6個
2.4、加工能力 : 108片/φ50mm,30片/φ100mm,18片/φ125mm
2.5、最小加工厚度: 0.20mm
2.6、下盤轉速: 0~60rpm
2.7、太陽輪轉速 0~30rpm
2.8、主電機: 7.5kW 1460rpm
2.9、太陽輪電機: 1.5kW 1400rpm
2.10、設備外形尺寸: 1600mm×1200mm×2850mm
2.11、設備質量: 約3000kg
三、設備的安裝及使用條件
3.1、 設備箱體上裝有四個起吊柱,專門用于設備搬運時吊裝,設備應安裝在地面平坦,遠離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。
設備安裝的條件為:
a、溫度10℃-25℃
b、相對濕度≤95%
c、電源電壓AC380±38V(三相五線制)
d、壓縮空氣源 0.5-0.6MPa(干燥的清潔空氣)
e、冷卻水 10-20℃,0.15-0.2MPa
3.2、設備可直接放在地板上,調整墊鐵可校正設備的水平,校正時,用水平儀在下研盤上檢測(即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正),其水平應調至0.06/1000mm。
四、整機精度指標
4.1、上下拋光盤平面度:≤0.02mm
4.2、 下拋光盤端面跳動允差:≤0.06mm
五、基本配置
5.1、氣動元件 SMC、亞德客等
5.2、減速器 國產
5.3、軸承 國產
5.4、可編程控制器〔PLC〕 OMRON
5.5、可編程人機界面PT OMRON
5.6、拉力傳感器 國產
5.7、變頻器 施耐德
5.8、 低壓電器 213、魏德米勒等
5.9、 旋鈕開關、電器開關 213、和泉等
5.10電機 國產
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