X62 D9B3M-T型拋光機技術(shù)規(guī)格書 

一、主要用途及特點：

1.1本機主要用于硅片、ITO玻璃基板、砷化鉀片、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面拋光，也可用于其它硬脆材料的雙面高精度拋光加工。

1.2該機采用可編程控制器(PLC)控制。可編程人機界面終端(PT)顯示并設(shè)定（通過觸摸屏）各項工作參數(shù)（壓力、時間、速度、緩降壓力、浮動時間）及工作狀態(tài)。

1.3采用三電機拖動，上盤、下盤與太陽能分別由不同的電機拖動，內(nèi)齒圈鎖定，可實現(xiàn)三電機的同步調(diào)速及分別單獨調(diào)速，能適應(yīng)不同材料不同加工工藝對設(shè)備的要求。

1.4該機具有拋光盤自動稱重功能，以此配合拋光壓力設(shè)定，可自動消除由于盤面（拋光皮）磨損而造成的壓力不穩(wěn)定現(xiàn)象，從而保證了同樣加工工藝參數(shù)（所設(shè)壓力、時間、速度）的穩(wěn)定性。

1.5該機可由用戶設(shè)定存貯多套二十段不同的工藝參數(shù)（壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等），以供操作工調(diào)用。

二、設(shè)備基本參數(shù)

l 上下拋盤尺寸：φ640mm×φ235mm×30mm

l 游星輪參數(shù)：  英制：Z＝108   DP12   α=20°

公制：Z＝114   M=2   α=20°

l 最小拋光厚度： 0.15mm

l 游星輪數(shù)量：   5個

l 加工能力 ：    40片/φ50mm，20片/φ75mm，10片/φ100mm

l 下盤轉(zhuǎn)速：     0-56rpm

l 主電機：       4kW    AC380V   1460rpm

l 上盤電機：     4kW    AC380V   1460rpm

l 太陽輪電機：   0.75kW  AC380V   1400rpm

l 三相電泵：     1/4HP  AC380V  70L/min

l 外型尺寸：     1000mm×1460mm×2620mm

l 重量：         約2000kg

三、設(shè)備的安裝及使用條件

3.1、 設(shè)備箱體上裝有四個起吊柱，專門用于設(shè)備搬運時吊裝，設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦，遠(yuǎn)離振動源，無灰塵煙霧污染的場所。

    設(shè)備安裝的條件為：

      a、溫度10℃-25℃

      b、相對濕度≤95%

      c、電源電壓AC380±38V（三相五線制）

      d、壓縮空氣源 0.4-0.6MPa

      e、冷卻水 10-20℃、0.15-0.2MPa

3.2、設(shè)備可直接放在地板上，調(diào)整六個地腳螺栓可校正設(shè)備的水平，校正時，用水平儀在下研盤上檢測（即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正），其水平應(yīng)調(diào)至0.06/1000mm。

四、整機精度指標(biāo)

4.1、上下拋光盤平面度：≤0.02mm

4.2、下拋光盤端面跳動：≤0.06mm