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X62 D9B3M-T型拋光機技術(shù)規(guī)格書
一、主要用途及特點:
1.1本機主要用于硅片、ITO玻璃基板、砷化鉀片、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面拋光,也可用于其它硬脆材料的雙面高精度拋光加工。
1.2該機采用可編程控制器(PLC)控制。可編程人機界面終端(PT)顯示并設(shè)定(通過觸摸屏)各項工作參數(shù)(壓力、時間、速度、緩降壓力、浮動時間)及工作狀態(tài)。
1.3采用三電機拖動,上盤、下盤與太陽能分別由不同的電機拖動,內(nèi)齒圈鎖定,可實現(xiàn)三電機的同步調(diào)速及分別單獨調(diào)速,能適應(yīng)不同材料不同加工工藝對設(shè)備的要求。
1.4該機具有拋光盤自動稱重功能,以此配合拋光壓力設(shè)定,可自動消除由于盤面(拋光皮)磨損而造成的壓力不穩(wěn)定現(xiàn)象,從而保證了同樣加工工藝參數(shù)(所設(shè)壓力、時間、速度)的穩(wěn)定性。
1.5該機可由用戶設(shè)定存貯多套二十段不同的工藝參數(shù)(壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等),以供操作工調(diào)用。
二、設(shè)備基本參數(shù)
l 上下拋盤尺寸:φ640mm×φ235mm×30mm
l 游星輪參數(shù): 英制:Z=108 DP12 α=20°
公制:Z=114 M=2 α=20°
l 最小拋光厚度: 0.15mm
l 游星輪數(shù)量: 5個
l 加工能力 : 40片/φ50mm,20片/φ75mm,10片/φ100mm
l 下盤轉(zhuǎn)速: 0-56rpm
l 主電機: 4kW AC380V 1460rpm
l 上盤電機: 4kW AC380V 1460rpm
l 太陽輪電機: 0.75kW AC380V 1400rpm
l 三相電泵: 1/4HP AC380V 70L/min
l 外型尺寸: 1000mm×1460mm×2620mm
l 重量: 約2000kg
三、設(shè)備的安裝及使用條件
3.1、 設(shè)備箱體上裝有四個起吊柱,專門用于設(shè)備搬運時吊裝,設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,遠(yuǎn)離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。
設(shè)備安裝的條件為:
a、溫度10℃-25℃
b、相對濕度≤95%
c、電源電壓AC380±38V(三相五線制)
d、壓縮空氣源 0.4-0.6MPa
e、冷卻水 10-20℃、0.15-0.2MPa
3.2、設(shè)備可直接放在地板上,調(diào)整六個地腳螺栓可校正設(shè)備的水平,校正時,用水平儀在下研盤上檢測(即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正),其水平應(yīng)調(diào)至0.06/1000mm。
四、整機精度指標(biāo)
4.1、上下拋光盤平面度:≤0.02mm
4.2、下拋光盤端面跳動:≤0.06mm
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