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一、主要用途及特點(diǎn)：
1.1本機(jī)主要用于硅片、藍(lán)寶石、ITO玻璃基板、砷化鉀片、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面拋光，也可用于其它硬脆材料的雙面高精度拋光加工。
1.2該機(jī)采用可編程控制器(PLC)控制?？删幊倘藱C(jī)界面終端(PT)顯示并設(shè)定（通過觸摸屏）各項工作參數(shù)（壓力、時間、速度、緩降壓力、浮動時間）及工作狀態(tài)。
1.3該機(jī)具有拋光盤自動稱重功能，以此配合拋光壓力設(shè)定，可自動消除由于盤面（拋光皮）磨損而造成的壓力不穩(wěn)定現(xiàn)象，從而保證了同樣加工工藝參數(shù)（所設(shè)壓力、時間、速度）的穩(wěn)定性。
1.4該機(jī)可由用戶設(shè)定存貯多套二十段不同的工藝參數(shù)（壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等），以供操作工調(diào)用。
1.5為了滿足某些特殊用戶的要求，該機(jī)的太陽輪既可正轉(zhuǎn)運(yùn)行，也可反轉(zhuǎn)運(yùn)行（相對于齒圈和下拋光盤, 人機(jī)界面首屏上選定）。
二、設(shè)備基本參數(shù)
l 上下拋盤尺寸：φ640mm×φ235mm×30mm
l 游星輪參數(shù)： 英制：Z＝108 DP12 α=20°
公制：Z＝114 M=2 α=20°
l 最小拋光厚度： 0.15mm
l 游星輪數(shù)量： 5個
l 加工能力 ： 40片/φ50mm，20片/φ75mm，10片/φ100mm
l 下盤轉(zhuǎn)速： 0-56rpm
l 主電機(jī)： 5.5kW AC380V 1460rpm
l 太陽輪電機(jī)： 0.75 kW AC380V 1400rpm
l 三相電泵： 1/4HP AC380V 70L/min
l 外型尺寸： 1000mm×1460mm×2620mm
l 重量： 約2000kg
三、設(shè)備的安裝及使用條件
3.1、 設(shè)備箱體上裝有四個起吊柱，專門用于設(shè)備搬運(yùn)時吊裝，設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦，遠(yuǎn)離振動源，無灰塵煙霧污染的場所。
設(shè)備安裝的條件為：
a、溫度10℃-25℃
b、相對濕度≤95%
c、電源電壓380±38V（三相五線制）
d、壓縮空氣源 0.4-0.6MPa
e、冷卻水 10-20℃、0.15-0.2MPa
3.2、設(shè)備可直接放在地板上，調(diào)整六個地腳螺栓可校正設(shè)備的水平，校正時，用水平儀在下研盤上檢測（即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正），其水平應(yīng)調(diào)至0.06/1000mm。
四、整機(jī)精度指標(biāo)
4.1、上下拋光盤平面度： ≤0.02mm
4.2、下拋光盤端面跳動允差：≤0.06mm
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