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    太陽能CIGS薄膜鍍膜機 沈陽金研

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-鍍膜設備-電子束蒸發(fā)

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-遼寧省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-鍍膜設備-電子束蒸發(fā)

    太陽能CIGS薄膜鍍膜機 沈陽金研

    1、設備用途: 采用電子束一步蒸發(fā)法用于制備CIGS(銅銦鎵硒)薄膜

    2.技術數(shù)據(jù):
    基片尺寸 1100mm×1400mm 基片加熱溫度 300℃
    工作真空度 6.7×10-4Pa    
    2.1鍍膜模式進片室+清洗室+鍍膜室+緩沖室+出片室
    2.2鍍膜室EB蒸發(fā)源三個
    2.3 EB蒸發(fā)源擋板三個
    2.4膜厚修正機構二套
    2.5控制方式PID可編程控,全自動

    3.技術型號:JCIGS-1型

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