服務(wù)熱線
4001027270
Tester 特色(LT-10)
•積分球收光
•光譜積分量測(cè)光強(qiáng)度
Prober 規(guī)格
Tester | 梭特高線性度測(cè)試機(jī) 或 客戶指定 | ||||
Wafer Ring Size工作直徑 |
6 ~ 10 英吋 Φ110mm ~Φ200 mm |
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Working Area of Wafer Test Stage |
X: 170 mm,精度(含視覺定位) <±7.7um @100mm,分解能<0.1um Y: 400 mm,精度(含視覺定位) <±7.7um @100mm,分解能<0.1um Z: 15 mm,精度<±4 um,分解能<2um |
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收光積分球 | 最大球體直徑: Φ100mm 收光角度: 106? 最低收光高度: 6mm |
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Index Time @Z 工作高度 200um |
XY Pitch | 200um | 300um | 400um | 500um |
70ms | 80ms | 90ms | 100ms | ||
Pre-scan CCD | Zoom Lens ,View 2.3 x 1.7 ~13.7 x 10.2 mm2 ,Resolution: 1296 x 966 pixel2 可程控(同軸、環(huán)狀)光源 |
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Observing CCD | View: 1.2 x 1.8 mm2 , Resolution: 659 x 494 pixel2 | ||||
探針組 | 擺設(shè)位置: 7個(gè) , 工作壓力: 2~10g |
Tester 規(guī)格(LT-10)
Item | Description | Unit | Specification |
Voltage | Measurement Range | V | 0~200 |
Spectrometer | Measurement Range | A | 1uA~1A or 0.85A |
Wavelength Range | nm | 350~1050 | |
Resolution | nm | 0.3 | |
Repeatability | nm | 0.4 | |
Brightness | linearity | % | < 1.5 |
Tester 配備
1.電源供應(yīng)器:KEITHLEY 2400(2600)或梭特自制電表
2.分光卡、16 Bit AD(使用Ocean USB 2000+ )
3.2英吋積分球
Tester 選購配備
1.ESD測(cè)試模塊
2.4英吋積分球
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