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    包郵 關(guān)注:416

    W系列—弧高臺(tái)階儀 蘇州愛特盟

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-臺(tái)階儀

    產(chǎn)品品牌

    蘇州愛特盟

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-江蘇省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：蘇州愛特盟

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-臺(tái)階儀

    【W系列—弧高臺(tái)階儀】
     專利號：ZL201120280620.7

     

    探測系統(tǒng)：

    顯微探頭：實(shí)現(xiàn)快速弧高及臺(tái)階測量，可測弧高臺(tái)階范圍50～2000μm（一般弧高的高度不超過800μm），并支持器件幾何尺寸測量；
    激光探頭：

    實(shí)現(xiàn)快速臺(tái)階測量，可測臺(tái)階范圍2～500μm，并支持表面輪廓掃描。

     

    系統(tǒng)配置：

     

    用途
    1.弧高測量 2.臺(tái)階測量 3.器件尺寸測量
    型號
    WB-70RX
    載物臺(tái)
    全自動(dòng)載物臺(tái)
    行程：105mm X 105mm
    支持夾具定制
    聚焦
    電動(dòng)聚焦系統(tǒng)，解析率：1.0μm
    顯微探頭：含影像自動(dòng)聚焦及特有雙ROI長焦掃描功能
    激光探頭：含影像輔助定位功能
    照明系統(tǒng)
    環(huán)形、同軸照明可選
    軟件系統(tǒng)
    圖像處理軟件系統(tǒng)，
    帶虛擬弧高算法功能及SPC控制模塊
    檢查性能
    顯微探頭：高度測量3σ≤3.0μm，精度±3um;
    激光探頭：高度測量3σ≤0.2μm，精度±0.2um;
    標(biāo)配外觀尺寸
    長：800mm  寬：750mm  高：1500mm

     

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