服務(wù)熱線
4001027270
• 采用直動(dòng)式探針;
• 可避免圓弧補(bǔ)正誤差;
• 可避免Bearing間隙誤差;
• 段差測定再現(xiàn)性;
• 1σ 0.2nm以內(nèi),但實(shí)際高速測試中可達(dá)0.1nm
• 縱軸最高分辨率0.1nm;
• 橫軸最高分辨率0.1um;
• X測定速度可調(diào):5μm~2mm/s;
• 測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設(shè)定;
• 可測定軟質(zhì)材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。
超高垂直直線度
• 可追溯性:通過ISO9000國際認(rèn)證,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,產(chǎn)品出廠皆有出廠測試認(rèn)證報(bào)告;
• 超高垂直直線度精度保證:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm;
• 可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內(nèi)應(yīng)力。
真直度保證-1
線性尺與時(shí)間取樣
形狀及粗度解析果
粗度規(guī)范對應(yīng):可對應(yīng)各種國際新舊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范,測量參數(shù)多達(dá)60種;
成交客戶(包括但不限于)
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