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    包郵 關(guān)注:483

    微細形狀測定機(臺階儀)ET150K31

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-臺階儀

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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     微細形狀測定機(臺階儀)
    Step Height Measuring System
    ET150K31

    KOSAKA SE 500-59表面粗糙度測定機是一款KOSAKA新推出的經(jīng)濟型便攜式臺式兩用機型。根據(jù)您的需求任意組合,并可對多種零件表面的粗糙度,波紋度以及原始輪廓進行多參數(shù)評定,是一款帶有專用控制器的高精度,高性能,表面粗糙度測量儀器,簡單操作,顯示一目了然。


    ET150K31 組合



    產(chǎn)品特性

    · 設(shè)備主體花崗巖,低熱膨脹,低重心,自隔震

    · 獨家專利的直動式傳感器設(shè)計

    · Z方向重復(fù)性1σ 0.2nm以內(nèi),但實際可達0.1nm

    · Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

    · 樣品臺的垂直直線度保證:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

    · 高精度的X方向位移光柵尺控制,X方向最大測量長度100mm,Y方向最大移動150mm

    · 自帶三維測量功能

    ET150K31的結(jié)構(gòu)


    花崗巖低重心設(shè)計


    極佳重復(fù)性與線性度

    采用直動式檢測方式
    可避免圓弧補正誤差
    可避免Bearing間隙誤差
    臺階測定重復(fù)性:1σ 0.2nm以內(nèi),但實際可達0.1nm
    Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)


    直動式檢出器構(gòu)造


    重復(fù)測量數(shù)據(jù) (10 times)


    直動式檢出器測量邊沿效應(yīng)


    直動式檢出器測量邊沿效應(yīng)

    線性度
    Vertical linearity(垂直線性度) : ±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)
    線性度計算公式: 誤差范圍 / Z方向測量范圍
    測量設(shè)備型號 : ET-150系列
    測試樣品為 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品
    Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um
    VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm
    VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm

    Taylor Hobson 標(biāo)準(zhǔn)樣


    VLSI SHS-9400QC


    VLSI SHS-440QC


    高分辨率

    縱軸最高分辨率0.1nm

    橫軸最高分辨率0.1um
    X測定速度可調(diào):5μm~2mm/s

    可測量超薄樣品、高深寬比樣品、多層臺階等


    超高垂直直線度

    垂直直線度:任何直線垂直方向上的偏移量稱為垂直直線度

    可追溯性:通過ISO9000國際認(rèn)證,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,產(chǎn)品出廠皆有出廠測試認(rèn)證報告

    超高垂直直線度精度保證:
    局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

    可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內(nèi)應(yīng)力

    超高垂直直線度的優(yōu)勢


    超高直線度國際認(rèn)證數(shù)據(jù)


    位移光柵尺與時間取樣


    ET150K31絕佳的設(shè)計,達到最佳的測量效果

    設(shè)備主體花崗巖,低熱膨脹,低重心,自隔震
    ·最佳的測量穩(wěn)定性和設(shè)備穩(wěn)定、耐用性

    直動式檢測器
    ·最佳的測量重復(fù)性&線性度,確保各樣品臺階測量的精度、準(zhǔn)確度

    樣品臺超高的垂直直線度保證
    ·進一步提高臺階測量精度,確保樣品形狀不變形

    樣品臺X方向光柵尺定位,最長測量距離100mm,最快測量速度5μm/s
    ·樣品周期性結(jié)構(gòu)不失真,長距離有利于測定多種國際參數(shù)

    實時監(jiān)控測量位置

    配備標(biāo)準(zhǔn)CCD:實時監(jiān)控測量位置

    可選購TOP VIEW CCD,執(zhí)行高精度定位量測

    形狀及粗度解析

    粗度規(guī)范對應(yīng):可對應(yīng)各種國際新舊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范,測量參數(shù)多達60種

    可測量臺階及傾斜度

    超大測定力范圍
    測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設(shè)定 可測定軟質(zhì)材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

    觸針保護蓋板及方便更換
     



     


     


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