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    包郵 關(guān)注:375

    Kosaka 6寸臺階儀

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-臺階儀

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    日本

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    Kosaka 6寸臺階儀
    ET150 產(chǎn)品特性

    •  設(shè)備主體花崗巖,低熱膨脹,低重心,自隔震;

    •  獨家專利的直動式傳感器設(shè)計;

    •  Z方向分辨率0.1m;重復(fù)性1σ 0.2nm以內(nèi),但實際可達0.1nm;

    •  Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A);

    •  樣品臺的垂直直線度保證:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm;

    •  高精度的X方向位移光柵尺控制,X方向最大測量長度100mm,Y方向最大移動                        150mm;

    •  選配三維測量功能。

    極佳重復(fù)性與線性度

    •  采用直動式檢測方式;

    •  可避免圓弧補正誤差;

    •  可避免Bearing間隙誤差;

    •  臺階測定重復(fù)性:1σ 0.2nm以內(nèi),但實際可達0.1nm;

    •  Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)。


    高分辨率

    •  縱軸最高分辨率0.1nm;

    •  橫軸最高分辨率0.1um;

    •  X測定速度可調(diào):5μm~2mm/s;

    •  可測量超薄樣品、高深寬比樣品、多層臺階等。


     

                                                                                                     
    超高垂直直線度









     

     

    • 垂直直線度:任何直線垂直方向上的偏移量稱為垂直直線度;

    • 可追溯性:通過ISO9000國際認證,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,產(chǎn)品出廠皆有出廠測試認證報告;

    • 超高垂直直線度精度保證:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm;

    • 可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內(nèi)應(yīng)力。


    位移光柵尺與時間取樣


    ET150絕佳的設(shè)計 達到最佳的測量效果

    •  設(shè)備主體花崗巖,低熱膨脹,低重心,自隔震

      → 最佳的測量穩(wěn)定性和設(shè)備穩(wěn)定、耐用性

    •  直動式檢測器

      → 最佳的測量重復(fù)性&線性度,確保各樣品臺階測量的精度、準確度

    •  樣品臺超高的垂直直線度保證

      → 進一步提高臺階測量精度,確保樣品形狀不變形

    •  樣品臺X方向光柵尺定位,最長測量距離100mm,最快測量速度5μm/s

      → 樣品周期性結(jié)構(gòu)不失真,長距離有利于測定多種國際參數(shù)

    形狀及粗度解析果

    粗度規(guī)范對應(yīng):可對應(yīng)各種國際新舊標準規(guī)范,測量參數(shù)多達60種;


    超大測定力范圍

    •  測定力在 10 ~ 500uN、    1~50mgf 可任意設(shè)定;

    •  可測定軟質(zhì)材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。


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