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熱門產(chǎn)品

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Kosaka 6寸臺階儀

ET150 產(chǎn)品特性

• 設(shè)備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震；

• 獨家專利的直動式傳感器設(shè)計；

• Z方向分辨率0.1m；重復(fù)性1σ 0.2nm以內(nèi),但實際可達0.1nm；

• Z方向線性度為±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）；

• 樣品臺的垂直直線度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm；

• 高精度的X方向位移光柵尺控制，X方向最大測量長度100mm，Y方向最大移動 150mm；

• 選配三維測量功能。

極佳重復(fù)性與線性度

• 采用直動式檢測方式；

• 可避免圓弧補正誤差；

• 可避免Bearing間隙誤差；

• 臺階測定重復(fù)性：1σ 0.2nm以內(nèi),但實際可達0.1nm；

• Z方向線性度為±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）。

高分辨率

• 縱軸最高分辨率0.1nm；

• 橫軸最高分辨率0.1um；

• X測定速度可調(diào)：5μm~2mm/s；

• 可測量超薄樣品、高深寬比樣品、多層臺階等。

超高垂直直線度

• 垂直直線度：任何直線垂直方向上的偏移量稱為垂直直線度；

• 可追溯性：通過ISO9000國際認證，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，產(chǎn)品出廠皆有出廠測試認證報告；

• 超高垂直直線度精度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm；

• 可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內(nèi)應(yīng)力。

位移光柵尺與時間取樣

ET150絕佳的設(shè)計達到最佳的測量效果

• 設(shè)備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震

→ 最佳的測量穩(wěn)定性和設(shè)備穩(wěn)定、耐用性

• 直動式檢測器

→ 最佳的測量重復(fù)性&線性度，確保各樣品臺階測量的精度、準確度

• 樣品臺超高的垂直直線度保證

→ 進一步提高臺階測量精度，確保樣品形狀不變形

• 樣品臺X方向光柵尺定位，最長測量距離100mm，最快測量速度5μm/s

→ 樣品周期性結(jié)構(gòu)不失真，長距離有利于測定多種國際參數(shù)

形狀及粗度解析果

粗度規(guī)范對應(yīng)：可對應(yīng)各種國際新舊標準規(guī)范，測量參數(shù)多達60種；

超大測定力范圍

• 測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設(shè)定；

• 可測定軟質(zhì)材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。

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Kosaka 6寸臺階儀

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