服務(wù)熱線
4001027270
厚膜&薄膜電路激光蝕刻機(jī) 盛雄激光
型號(hào):SC-K600
銀漿、ITO蝕刻樣品:
行業(yè)應(yīng)用:
1、電阻式、電容式觸摸屏銀漿線路蝕刻、修復(fù)。
2、ITO及各類金屬導(dǎo)電膜線路激光蝕刻。
3、PCB行業(yè)薄膜電路光刻掩膜板激光蝕刻成型。
4、太陽能光伏硅基板薄膜電路蝕刻。
機(jī)器優(yōu)點(diǎn):
1、激光蝕刻為干式蝕刻,加工制程簡(jiǎn)單,所有加工均由軟件自動(dòng)控制,產(chǎn)品一致性高,良率高達(dá)99%。
2、最小蝕刻線寬20μm,支持銀漿線路和ITO一次性同時(shí)蝕刻,輕松實(shí)現(xiàn)單層多點(diǎn)電容屏sensor線路蝕刻。
3、CCD視覺自動(dòng)尋靶,一次性可加工650mm×550mm范圍,拼接精度≤±3μm。
4、支持多種視覺定位特征,500萬像素單點(diǎn)抓靶時(shí)間小于1秒鐘,克服了印刷變形過大導(dǎo)致激光蝕刻偏位的問題,定位精度≤±3μm。
5、激光蝕刻機(jī)5萬小時(shí)無耗材,免維修,使用成本低,替代黃光制程。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
光學(xué)單元 | ||
1 | 激光器類型 | 532,1064nm(納秒&皮秒)可選 |
2 | 激光功率 | 20W |
3 | 光束質(zhì)量 | M²<1.3 |
4 | 聚焦方式&加工頭數(shù) | 平場(chǎng)聚焦鏡、單頭 |
5 | 最小聚焦光斑直徑 |
Ф18μm |
激光加工性能 | ||
6 | 加工速度 | 1000~4000mm/s可調(diào) |
7 | 最小蝕刻線寬 | 20μm |
8 | 蝕刻線寬精度 | ±1.5μm |
9 | 激光單次最大工作范圍 |
130mm×130mm,20μm線寬 170mm×170mm,35μm線寬 |
10 | 激光蝕刻最大工作范圍 | 650mm×550mm任意自動(dòng)拼接 |
11 | 激光蝕刻線路拼接精度 | ≤±3μm |
機(jī)械單元 | ||
12 | 機(jī)床結(jié)構(gòu) | 立柱&龍門式 |
13 | 機(jī)床運(yùn)動(dòng)軸數(shù)&種類 | 最多8軸, X,Y, Z, & θ軸 |
14 | 平臺(tái)最大行程&速度 | 650mm×550mm,800mm/s |
15 | 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)重復(fù)精度 | ≤±1μm |
16 | 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度 | ≤±3μm |
軟件控制單元 | ||
17 | 激光加工&平臺(tái)控制 | Strongsoft, Strongsmart |
18 | 加工文件導(dǎo)入格式 | Dxf, Plt, DWG, Gebar |
19 | CCD視覺定位軟件 | AISYS Vision |
20 | CCD視覺定位精度 | ≤±3μm |
電氣單元 | ||
21 | 真空系統(tǒng) | 真空發(fā)生器 |
22 | 除塵&集塵系統(tǒng) | 離心式風(fēng)機(jī) |
安裝環(huán)境 | ||
23 | 整機(jī)供電&穩(wěn)壓器功率 | 220V\380V,5KW |
24 | 壓縮空氣壓強(qiáng) | ≥0.6MPa |
25 | 無塵室等級(jí) | 10000 |
26 | 地面承重 | 2T/m² |
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