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關(guān)注:899
日本Certas Leaga 化學(xué)氣體高效刻蝕系統(tǒng)
產(chǎn)品品牌
日本Certas
庫 存:
1
產(chǎn) 地:
全國(guó)
日本Certas Leaga 化學(xué)氣體高效刻蝕系統(tǒng)
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詳細(xì)介紹 |
Certas LEAGA是一種高效率的系統(tǒng),除了Certas WING的基本性能之外,還可以滿足單個(gè)平臺(tái)上的多個(gè)流程需求。針對(duì)當(dāng)前和下一代設(shè)備的大量生產(chǎn),LEAGA具有易于配置的主機(jī),可以進(jìn)行優(yōu)化,以匹配所需的應(yīng)用程序。擴(kuò)展了Certas系列的獨(dú)特工藝技術(shù),現(xiàn)在可以控制多種類型氧化硅薄膜中的蝕刻選擇性,從非選擇性到高度選擇性,為從大批量生產(chǎn)到下一個(gè)廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵接口提供控制一代發(fā)展。
特征
獨(dú)特的干氣去除選擇性范圍廣的選擇氧化膜
集群雙晶圓腔室設(shè)計(jì)提供靈活的模塊配置
應(yīng)用
二氧化硅膜去除和回蝕
在硅接觸之前進(jìn)行預(yù)清潔
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