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當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 鍍膜設(shè)備 » 電子束蒸發(fā) »供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 電子束蒸鍍機(jī) 非標(biāo)定制 真空度高、抽速快
    包郵 關(guān)注:327

    供應(yīng) 鵬城半導(dǎo)體 電子束蒸鍍機(jī) 非標(biāo)定制 真空度高、抽速快

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-電子束蒸發(fā)

    庫       存:

    999

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
     電子束蒸鍍機(jī)(高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī))是在高真空條件下,采用電子束轟擊材料加熱蒸發(fā)的方法,在襯底上鍍制各種金屬、氧化物、導(dǎo)電薄膜、光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬膜等;可鍍制混合物單層膜、多層膜或摻雜膜;可鍍各種高熔點(diǎn)材料。

    可用于生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)及教學(xué),可根據(jù)用戶要求專*門訂制。

    可根據(jù)用戶使用要求,選配石英晶體膜厚自動控制及光學(xué)膜厚自動控制兩種方式, 通過PLC 和工控機(jī)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)對整個鍍膜過程的全程自動控制, 包括真空系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、蒸發(fā)過程和膜層厚度的監(jiān)控功能等,從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。

     

    設(shè)備特點(diǎn)

    設(shè)備具有真*空度高、抽速快、基片裝卸方便的特點(diǎn),配備 E 型電子束蒸發(fā)源和電阻蒸發(fā)源。PID自動控溫,具有成膜均勻、放氣量小和溫度均勻的優(yōu)點(diǎn)。

    可根據(jù)用戶使用要求,選配石英晶體膜厚自動控制及光學(xué)膜厚自動控制兩種方式,通過PLC和工控機(jī)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)對整個鍍膜過程的全程自動控制,包括真空系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、蒸發(fā)過程和膜層厚度的監(jiān)控功能等,從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。

     

    真空性能

    極限真空:7×10-5Pa~7×10-6Pa

    設(shè)備總體漏放率:關(guān)機(jī)12小時(shí),≤10Pa

    恢復(fù)工作真空時(shí)間短,大氣至7×10-4Pa≤30分鐘;

     

    設(shè)備構(gòu)成

    E 型電子束蒸發(fā)槍、電阻熱蒸發(fā)源組件(可選配)、樣品掩膜擋板系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)及真空測量系統(tǒng)、分子泵真空機(jī)組或低溫泵真空機(jī)組、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、樣品傳遞機(jī)構(gòu),膜厚控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、恒溫冷卻水系統(tǒng)等組成。

    可選件:膜厚監(jiān)控儀,恒溫制冷水箱。

     

    熱蒸發(fā)源種類及配置

     

     E 型電子束蒸發(fā)系統(tǒng)  1套  

     功率  6kW~10kW  其它功率(可根據(jù)用戶要求選配)

     坩堝  1~8只  可根據(jù)用戶要求選配

     電阻熱蒸發(fā)源組件  1~4套  (可根據(jù)用戶要求配裝)

     

    電阻熱蒸發(fā)源種類

    -鉭(鎢或鉬)金屬舟熱蒸發(fā)源組件

    -石英舟熱蒸發(fā)源組件

    -鎢極或鎢藍(lán)熱蒸發(fā)源組件

    -鉭爐熱蒸發(fā)源組件(配氮化硼坩堝或陶瓷坩堝)

    -束源爐熱蒸發(fā)組件(配石英坩堝或氮化硼坩堝)

     

    操作方式

    手動、半自動


    1-3-6-3-2-7-5-0-0-1-7

     

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