服務(wù)熱線
4001027270
TYG-2000/T1步進(jìn)投影光刻機(jī) 鑫有研電子科技有限公司 設(shè)備商城
曝光場(chǎng)面積:10mm×10mm
分辨力:1μm;
照明不均勻性:±2%
物鏡倍率:5倍(縮小)
光源:350W球形汞燈(曝光譜線: i線)
基片尺寸:3 英寸 、4 英寸
工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍:X:>150mm、 Y:>150mm;
工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)定位精度:±0.65μm
調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)靈敏度:1μm
對(duì)準(zhǔn)精度:±0.5μm
調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程:5mm
檢焦:CCD檢測(cè),檢測(cè)精度0.5微米
轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)行程:±4°以上
基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片),厚度:0.1mm--5mm
主要技術(shù)配置:
(1)照明系統(tǒng):冷光橢球鏡; 350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗); XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái); 光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡負(fù)透鏡、蠅眼透鏡組(79個(gè)透鏡)、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風(fēng)扇
(2)工件臺(tái)系統(tǒng):X臺(tái):電機(jī)驅(qū)動(dòng)器(日本樂(lè)孜)、絲杠(日本NSK)、導(dǎo)軌2(日本THK)、光柵(美國(guó)) Y臺(tái):電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器(日本樂(lè)孜)、絲杠(日本NSK)、導(dǎo)軌2(日本THK)、光柵2(美國(guó)) 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái):電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器(日本樂(lè)孜),轉(zhuǎn)動(dòng)軸系 調(diào)平臺(tái):電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器(3套)、調(diào)平機(jī)構(gòu) Z臺(tái):電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器(日本樂(lè)孜)、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu); 承片臺(tái):3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)
(3)檢焦系統(tǒng):焦面光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、CCD、焦面檢測(cè)軟件
(4)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng):對(duì)準(zhǔn)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)(2套)、CCD(2套)、對(duì)準(zhǔn)軟件
(5)電控系統(tǒng):汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計(jì)算機(jī)、顯示器、接口
(6)其他部件:底座 減震器(4個(gè));控制柜桌;氣動(dòng)系統(tǒng);電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
(7)其他附件:真空泵一臺(tái)(無(wú)油泵);空壓機(jī)一臺(tái)(靜音泵);管道
購(gòu)買(mǎi)之前,如有問(wèn)題,請(qǐng)向我們咨詢