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TYG-2000/T1步進(jìn)投影光刻機(jī) 鑫有研電子科技有限公司 設(shè)備商城
曝光場面積:10mm×10mm
分辨力:1μm;
照明不均勻性:±2%
物鏡倍率:5倍(縮小)
光源:350W球形汞燈(曝光譜線: i線)
基片尺寸:3 英寸 、4 英寸
工件臺運(yùn)動范圍:X:>150mm、 Y:>150mm;
工件臺運(yùn)動定位精度:±0.65μm
調(diào)焦臺運(yùn)動靈敏度:1μm
對準(zhǔn)精度:±0.5μm
調(diào)焦臺運(yùn)動行程:5mm
檢焦:CCD檢測,檢測精度0.5微米
轉(zhuǎn)動臺行程:±4°以上
基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片),厚度:0.1mm--5mm
主要技術(shù)配置:
(1)照明系統(tǒng):冷光橢球鏡; 350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺; 光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡負(fù)透鏡、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風(fēng)扇
(2)工件臺系統(tǒng):X臺:電機(jī)驅(qū)動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導(dǎo)軌2(日本THK)、光柵(美國) Y臺:電機(jī)及驅(qū)動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導(dǎo)軌2(日本THK)、光柵2(美國) 轉(zhuǎn)動臺:電機(jī)及驅(qū)動器(日本樂孜),轉(zhuǎn)動軸系 調(diào)平臺:電機(jī)及驅(qū)動器(3套)、調(diào)平機(jī)構(gòu) Z臺:電機(jī)及驅(qū)動器(日本樂孜)、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu); 承片臺:3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)
(3)檢焦系統(tǒng):焦面光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件
(4)對準(zhǔn)系統(tǒng):對準(zhǔn)光學(xué)檢測系統(tǒng)(2套)、CCD(2套)、對準(zhǔn)軟件
(5)電控系統(tǒng):汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計(jì)算機(jī)、顯示器、接口
(6)其他部件:底座 減震器(4個);控制柜桌;氣動系統(tǒng);電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
(7)其他附件:真空泵一臺(無油泵);空壓機(jī)一臺(靜音泵);管道
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