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雙面對(duì)準(zhǔn)紫外光刻機(jī)
型號(hào):URE-2000S/A型
該機(jī)采用國(guó)內(nèi)首創(chuàng)的CCD圖像底面對(duì)準(zhǔn)技術(shù),單曝光頭正面曝光實(shí)現(xiàn)雙面對(duì)準(zhǔn)的總體設(shè)計(jì)技術(shù)。采用新穎的高精度、多自由度掩模—樣片精密對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),掩模—樣片對(duì)準(zhǔn)過程直觀,套刻對(duì)準(zhǔn)速度快、精度高。掩模板與樣片的放置采用推拉式基準(zhǔn)平板、真空吸附式,操作方便。
采用專利技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實(shí)現(xiàn)均勻照明;
1、采用三爪和球氣浮同時(shí)找平,無論大片、小片調(diào)平精度均高;
2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能;
3、自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙,間隙分離可達(dá)500μm;
4、高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過程,
并提供USB輸出;既滿足高精度對(duì)準(zhǔn),又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果,且曝光結(jié)果和
方便存儲(chǔ);
5、電機(jī)機(jī)構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好;
7、曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm,冷光照明(曝光面能量15mW/cm ,溫度小于30度);
8、對(duì)準(zhǔn)完成,自動(dòng)消除曝光間隙,無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察;
9、快門可以單獨(dú)開啟,也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)倒計(jì)時(shí)曝光(設(shè)定范圍0.1s-9999.9s);
10、采用350W進(jìn)口(德國(guó))直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度;
11、汞燈具有高亮度和“待機(jī)”兩種方式,即曝光時(shí)采用高亮度照明,而不曝光
時(shí)采用低亮度的“待機(jī)”,從而延長(zhǎng)了汞燈壽命。
12、設(shè)備外形美觀精制,性能非??煽?;
13、上下片、版十分方便,自動(dòng)化程度很高,操作簡(jiǎn)便。
二.技術(shù)參數(shù)
1、曝光面積:153mm×153mm
2、曝光波長(zhǎng):365nm
3、分辨力:0.8µm(膠厚1.5um的正膠)
4、對(duì)準(zhǔn)精度:?jiǎn)蚊?plusmn;0.8µm,雙面±2.5µm
5、掩模尺寸:3寸、4寸、5寸、7寸
6、承片臺(tái):2寸、3寸、4寸、6寸
7、樣片尺寸直徑Ф30mm--Ф150mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片) 厚度0.1mm-6mm(可擴(kuò)展為15mm)
8、照明均勻性:±3%(Ф100mm范圍)±5%(Ф150mm范圍)
9、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程: X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率:1000W(直流 德國(guó)歐司朗長(zhǎng)壽命型)
11、曝光方式:定時(shí)(到計(jì)時(shí)方式0.1s—9999.9s任意設(shè)定)
12、最大膠厚:500um
13、光源平行性:6度
14、雙目雙視場(chǎng)顯微鏡:物鏡三隊(duì):4X、10X、20X,目鏡三對(duì):10X、16X、20X
應(yīng)用領(lǐng)域
集成電路芯片、電子封裝、微電子機(jī)械系統(tǒng)、微光學(xué)元件、紅外探測(cè)器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻,波導(dǎo)陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等
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