服務(wù)熱線
4001027270
曝光面積:150mm×150mm
分辨力:1μm(膠厚1.5 μm的正膠)
對準(zhǔn)精度:±3μm(雙面)
最大膠厚:500μm(SU8膠)
掩模尺寸:3inch、4 inch、5 inch、7 inch
樣片尺寸:直徑Ф30mm--Ф150mm 厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)
照明均勻性:±3.5%Ф100mm) ±5.5%(Ф150mm)
汞燈功率:1000W(直流)
掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
該機(jī)采用國內(nèi)首創(chuàng)的CCD圖像底面對準(zhǔn)技術(shù),單曝光頭正面曝光實(shí)現(xiàn)雙面對準(zhǔn)的總體設(shè)計(jì)技術(shù)。采用新穎的高精度、多自由度掩模—樣片精
密對準(zhǔn)工件臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),掩模—樣片對準(zhǔn)過程直觀,套刻對準(zhǔn)速度快、精度高。掩模板與樣片的放置采用推拉式基準(zhǔn)平板、真空吸附式,操作方便。
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