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    臺階儀/3D表面輪廓儀/白光干涉儀 美國蘆華

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-其他

    產(chǎn)品品牌

    美國蘆華

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    美國

    數(shù)       量：

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    品牌：美國蘆華

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-其他

    臺階儀/3D表面輪廓儀/白光干涉儀 美國蘆華
    NanoMap Series 3D Surface Profilometer

    美國AEP（AEP Technology, Inc.）

    NanoMap-D 雙模式三維表面輪廓儀（臺階儀）
    世上第一臺，也是唯一同時具備探針式掃描和白光干涉掃描功能的輪廓儀。既方便分析各種材料、器件、工具等的表面形貌，又節(jié)省了寶貴的空間、費(fèi)用。有些表面不適合探針測量，因?yàn)槿菀讚p傷樣品；有些表面不適合干涉儀，因?yàn)橄噜彶牧瞎鈱W(xué)性質(zhì)差異太大。這臺設(shè)備以強(qiáng)有力的競爭為您提供兩種選擇。
    3D接觸式探針掃描(contact profiler) 臺階重復(fù)率 5A
    fine模式Z高度范圍 5μm
    coarse模式Z高度范圍 500μm(可選1.5mm)
    Tip Scan模式(XY) 最大50μm
    Stage Scan模式(XY) 最大150mm(可選200mm等)
    探針壓力 0.03-100mg
    樣品臺 150*150mm(可選200*200mm等)
    3D非接觸光學(xué)掃描(optical profiler) 臺階重復(fù)率 1A
    CCD分辨率 1024*1024/1536*1536/1920*1920
    物鏡 2.5x/5x/10x/20x/50x/100x
    樣品反光率 0.4-100%
    最大樣品厚度 50mm( 可選100mm)
    樣品臺旋轉(zhuǎn) 360度
    樣品臺傾斜 4度
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    問

    可測零件直徑范圍多大？X向光柵是進(jìn)口 的還是國產(chǎn)的？

    mund  2017-08-15

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