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    CIOTA 系列三坐標(biāo)測

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-其他

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    所屬系列：半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-其他

     CIOTA 系列三坐標(biāo)測

    來自意大利經(jīng)典設(shè)計，采用優(yōu)質(zhì)鋼材和天然花崗巖作為機(jī)械本體的主要材料，確保在惡劣條件下的高精度檢測。穩(wěn)定的機(jī)械結(jié)構(gòu)能適合多種測量場合，靈活的測頭和軟件配置涵蓋了從計量室到車間各種工件的檢測。

    機(jī)型的特點：
    ?橋式移動結(jié)構(gòu)，具備敞開的測量空間；
    ?全封閉的三軸結(jié)構(gòu)設(shè)計，保證了整機(jī)精度的長期穩(wěn)定；
    ?工作臺為整體天然花崗巖；
    ?加厚的工作臺設(shè)計，可滿足大承重、高精度的測量要求；
    ?可配置各種觸發(fā)、掃描測頭；
    ?可配置高精度光柵檢測系統(tǒng)；
    ?可選配溫度補(bǔ)償系統(tǒng)；
    ?模塊化設(shè)計可滿足用戶特殊定制要求。
     
     
     

     

    工作環(huán)境要求
    測量機(jī)室的溫度：20℃±2℃；測量機(jī)室的濕度：25%-75%
    測量機(jī)周圍環(huán)境的最大溫度梯度： 1℃/h ， 1℃/m
    機(jī)械振動：
    頻率0.2—2 Hz，振幅＜5×10-6m
    頻率2—20 Hz，速度＜50×10-6m/s
    頻率20—200 Hz，加速度＜5×10-3m/s2
     
    供氣系統(tǒng)：
    最小供氣壓力：0.6 Mpa 耗氣量：0.2 m3/min 氣管外徑：Φ6 mm
    供電系統(tǒng)：
    功耗：3 kw 電壓：220 v±5%  頻率：50 Hz
    電流：15 A
    專用地線電阻≤5 Ω
     

     

     
     

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