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    三坐標測量儀

    應用于半導體行業(yè):

    半導體測試設備-表面形貌測試-其他

    庫       存:

    99

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體測試設備-表面形貌測試-其他

     三坐標測量儀可定義為一種具有可作三個方向移動的探測器,可在三個相互垂直的導軌上移動,此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號,三個軸的位移測量系統(tǒng) ( 如光學尺 ) 經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機等計算出工件的各點坐標(X、Y、Z)及各項功能測量的儀器。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度測量、定位精度測量、幾何精度測量及輪廓精度測量等。任何形狀都是由三維空間點組成的,所有的幾何量測量都可以歸結為三維空間點的測量,因此精確地進行空間點坐標的采集,是評定任何幾何形狀的基礎。

    工作原理:

    三坐標測量機的基本原理是將被測零件放入它允許的測量空間范圍內(nèi),精確地測出被測零件表面的點在空間三個坐標位置的數(shù)值,將這些點的坐標數(shù)值經(jīng)過計算機處理,擬合形成測量元素,如圓、球、圓柱、圓錐、曲面等,經(jīng)過數(shù)學計算的方法得出其形狀、位置公差及其他幾何量數(shù)據(jù)。

    產(chǎn)品應用范圍:


    廣泛應用于機械、電子、模具、汽車、航空航天等行業(yè)的計量檢測,確保產(chǎn)品的形狀和位置公差符合要求。

    產(chǎn)品特點:

    · 工作臺支撐點采用3+2支撐方式,三個主支撐點經(jīng)過嚴密計算,保證工作臺變形量最小,提高測量機精度。兩個輔助支撐點確保測量機的穩(wěn)定、安全、可靠。

    · 框架采用全封閉結構,采用優(yōu)質(zhì)鋁合金材料,即保證了框架的剛度又減輕了框架的重量,提高了框架運動平穩(wěn)性,提高了測量機動態(tài)測量精度。

    ·X、Y、Z三軸導軌均采用精密級花崗巖氣浮導軌,三軸具有相同的溫度效應,保證了測量機精度。

    ·花崗巖氣浮導軌氣浮布置嚴格按照面、線、點定位原則,做到既不過定位又不失定位,即保證測量機的精度又保證安裝工藝性。

    ·X橫梁采用專利技術,梯形截面45°放置技術,是相同高度、寬度矩形橫梁氣浮跨距的1.4倍,有效的提高了測量機精度。

    ·Z軸采用低摩擦氣缸平衡重力技術,可實現(xiàn)隨時調(diào)節(jié)平衡重力,同時提高了Z軸運動平穩(wěn)性,提高了測量機動態(tài)測量精度。

    ·整機采用先進的有限元分析設計,對零件進行結構優(yōu)化設計。

    ·設備依托現(xiàn)代工業(yè)設計理念,充分考慮了人機工學特點,使設備具有操作舒適性。

    ·設備采用多重防護措施,如:Z軸平衡氣缸壓力實時檢測保護、開機空氣軸承延時通氣保護、空氣軸承工作壓力實時檢測、軟限位、電限位、硬限位三重保護功能、長時間無人操作斷電保護等多項保護功能,大大提高了設備的使用安全性。

    ·配置了精密級氣源過濾器,對油、水過濾精度可達0.1um,過濾率達99.93%,保證了花崗巖氣浮導軌安全可靠運行。

    ·驅(qū)動系統(tǒng)采用國際知名品牌的高性能直流伺服電機、同步齒形帶傳動裝置,確保傳動更快捷、更精準、運動性能更佳;

    ·采用進口精密光柵系統(tǒng)為測量機提供了準確可靠的長度計量基準,保證了機器測量的重復性;

    ·測量機出廠前經(jīng)過質(zhì)檢部門48小時連續(xù)無故障空運行試驗,保證了機器測量過程中的穩(wěn)定性;

    ·配備進口測頭系統(tǒng)可滿足多種測量需要;

    ·采用國際先進的上下位機式的雙計算機控制系統(tǒng),下位機為32位CPU微處理器,可實現(xiàn)實時控制,提高了系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性

    ·上下位機采用光纖通信,系統(tǒng)抗干擾能力強

    ·系統(tǒng)具有三種工作模式:觸發(fā)式測量、數(shù)字化及包括具有專利的RenscanDCTM的SP25M、SP80、SP600掃描測量模式

    ·內(nèi)置控制技術可控制旋轉(zhuǎn)工作臺,實現(xiàn)四軸伺服驅(qū)動

    ·具有功能強大的運動狀態(tài)控制軟件,進行伺服運動參數(shù)自動優(yōu)化調(diào)整

    ·具有圖形軌跡顯示調(diào)試軟件,可實現(xiàn)智能掃描控制,進行空間輪廓曲線、曲面自動掃描控制

    ·采用連續(xù)運動軌跡插補控制技術,進行測量軌跡的優(yōu)化整合,自動生成合理的測量運動軌跡,實現(xiàn)飛行觸發(fā)測量

    ·提供多種安全保障方式及具有故障自診斷糾錯功能

    ·內(nèi)部通訊采用多重I/O接口及PICS/RS232接口

    ·光柵尺分辨率接口,可任選不同的分辨率

    ·具有溫度補償傳感器接口

    ·21項機械誤差硬件補償功能.

    帶有三軸聯(lián)動操縱桿和按鍵面板的英國RENISHAW微電腦多功能鍵盤操縱盒。

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