網(wǎng)站首頁

|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備 » 表面形貌測(cè)試 » 其他 »FUTURE系列三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)
    包郵 關(guān)注:383

    FUTURE系列三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-表面形貌測(cè)試-其他

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-表面形貌測(cè)試-其他

      

    FUTURE系列三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

     整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)采用有限元分析技術(shù),配備獨(dú)特小孔節(jié)流式空氣軸承的氣墊設(shè)計(jì),大大減少了環(huán)境對(duì)測(cè)量機(jī)的影響。三軸均采用齒形帶傳動(dòng)和無摩擦氣浮導(dǎo)軌,使得各軸運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)精確,適合多種測(cè)量場(chǎng)合。

    機(jī)型的特點(diǎn)
     
    ?工作臺(tái)固定,采用橋式移動(dòng)結(jié)構(gòu);
    ?三軸導(dǎo)軌均為花崗巖材料結(jié)構(gòu)件,具有膨脹系數(shù)低,變形小的特點(diǎn),使測(cè)量機(jī)精度更加穩(wěn)定;
    ?三軸均采用齒形帶傳動(dòng),使得各軸運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)精確;
    ?三軸均為無摩擦氣浮導(dǎo)軌;
    ?獨(dú)特小孔節(jié)流式空氣軸承的氣墊設(shè)計(jì),其性能穩(wěn)定、承載能力強(qiáng),從而保證各向?qū)к壍某休d和導(dǎo)向精度,確保整機(jī)運(yùn)動(dòng)的剛性和測(cè)量空間的精度;
    ?獨(dú)特的平衡氣缸設(shè)計(jì),使Z軸上下運(yùn)動(dòng)時(shí)阻力大大減小,提高了運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性,從而保證了測(cè)量精度;
    ?開放式Z軸結(jié)構(gòu)使安裝維護(hù)更方便;
    ?模塊化設(shè)計(jì)可滿足用戶特殊定制要求。
    ?可選配溫度補(bǔ)償系統(tǒng)。
     
     

      

     


    工作環(huán)境要求
    測(cè)量機(jī)室的溫度:20℃±2℃;測(cè)量機(jī)室的濕度:25%-75%
    測(cè)量機(jī)周圍環(huán)境的最大溫度梯度: 1℃/h , 1℃/m
    機(jī)械振動(dòng):
    頻率0.2—2 Hz,振幅<5×10-6m
    頻率2—20 Hz,速度<50×10-6m/s
    頻率20—200 Hz,加速度<5×10-3m/s2
     
    供氣系統(tǒng):
    最小供氣壓力:0.6 Mpa 耗氣量:0.2 m3/min 氣管外徑:Φ6 mm
    供電系統(tǒng):
    功耗:3 kw 電壓:220 v±5%  頻率:50 Hz
    電流:15 A
    專用地線電阻≤5 Ω

     

     

     

     

    咨詢

    購(gòu)買之前,如有問題,請(qǐng)向我們咨詢

    提問:
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號(hào)