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    包郵 關(guān)注:839

    Nikon NSR175517A

    產(chǎn)品品牌

    Nikon NSR175517A

    庫(kù)       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：Nikon NSR175517A

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-電子束曝光機(jī)

     一、基本參數(shù)：

        工    藝：I線(xiàn)光刻機(jī)

        工藝能力：0.5微米

        襯底尺寸：4英寸、5英寸、6英寸、8英寸

    傳片方式：機(jī)械手單片傳送，片架到片架傳送

    二、設(shè)備配置：

        硅片傳輸系統(tǒng)

        掩膜版自動(dòng)傳輸系統(tǒng)

        LSA對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

    FIA對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

        照明系統(tǒng)

        二維精密XY工作臺(tái)

        預(yù)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

        環(huán)境控制器

    三、工藝指標(biāo)

    NSR1755I7A是I線(xiàn)步進(jìn)式光刻機(jī)，其曝光波長(zhǎng)為365nm；分辨率可以達(dá)到0.5um；最大曝光場(chǎng)大小為17.5mm*17.5mm；單機(jī)套刻精度能夠控制在120nm以?xún)?nèi)；并能提供大于60片/小時(shí)的產(chǎn)能。

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    提問(wèn):
     

    能提供一下基片的尺寸范圍，分辨率、對(duì)準(zhǔn)精度這些參數(shù)嗎？

    wole  2017-07-28

    答

        一、基本參數(shù)：

           工    藝：I線(xiàn)光刻機(jī)

           工藝能力：0.5微米

           襯底尺寸：4英寸、5英寸、6英寸、8英寸

       傳片方式：機(jī)械手單片傳送，片架到片架傳送

       二、設(shè)備配置：

           硅片傳輸系統(tǒng)

           掩膜版自動(dòng)傳輸系統(tǒng)

           LSA對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

         FIA對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

           照明系統(tǒng)

           二維精密XY工作臺(tái)

           預(yù)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

           環(huán)境控制器

       三、工藝指標(biāo)

             NSR1755I7A是I線(xiàn)步進(jìn)式光刻機(jī)，其曝光波長(zhǎng)為365nm；分辨率可以達(dá)到0.5um；最大曝光場(chǎng)大小為17.5mm*17.5mm；單機(jī)套刻精度能夠控制在120nm以?xún)?nèi)；并能提供大于60片/小時(shí)的產(chǎn)能。

    2017-08-04

    能提供一下基片的尺寸范圍，分辨率、對(duì)準(zhǔn)精度這些參數(shù)嗎？

    wole  2017-07-28

    答

        一、基本參數(shù)：

           工    藝：I線(xiàn)光刻機(jī)

           工藝能力：0.5微米

           襯底尺寸：4英寸、5英寸、6英寸、8英寸

       傳片方式：機(jī)械手單片傳送，片架到片架傳送

       二、設(shè)備配置：

           硅片傳輸系統(tǒng)

           掩膜版自動(dòng)傳輸系統(tǒng)

           LSA對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

         FIA對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

           照明系統(tǒng)

           二維精密XY工作臺(tái)

           預(yù)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

           環(huán)境控制器

       三、工藝指標(biāo)

             NSR1755I7A是I線(xiàn)步進(jìn)式光刻機(jī)，其曝光波長(zhǎng)為365nm；分辨率可以達(dá)到0.5um；最大曝光場(chǎng)大小為17.5mm*17.5mm；單機(jī)套刻精度能夠控制在120nm以?xún)?nèi)；并能提供大于60片/小時(shí)的產(chǎn)能。

    2017-08-04

    你們是代理嗎？多久能交貨？?jī)r(jià)格怎么樣？

    sjfh  2017-08-14

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類(lèi)產(chǎn)品：

    服務(wù)熱線(xiàn)

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

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