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    包郵 關(guān)注:921

    德Raith Pioneer Two 電子束光刻機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    德Raith

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：德Raith

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-電子束曝光機(jī)

     
    德Raith Pioneer Two 電子束光刻機(jī)
    詳細(xì)介紹

    Pioneer Two 電子束光刻機(jī)：

    德 Raith Pio<em></em>neer Two 電子束光刻機(jī).png



    1.           系統(tǒng)適用于2"及以下的樣片，采用熱場(chǎng)發(fā)射電子槍，加速電壓為20V~30kV。可實(shí)現(xiàn)高分辨電子束曝光，最小驗(yàn)收線寬≤8nm。
    2.       系統(tǒng)中集成了高精度的激光干涉工作臺(tái)，運(yùn)動(dòng)行程為50 x 50 x 25mm，XY方向定位精度為2nm，可以實(shí)現(xiàn)精確的拼接套刻，拼接套刻精度≤50nm。
    3.       系統(tǒng)兼具了高精度成像度量的功能，其成像效果和市面上中高端的熱場(chǎng)電鏡類似，放大倍數(shù)為20x ~1,000,000x。 
    4.       另外，除了標(biāo)準(zhǔn)配置, 客戶還可以增加一些選配件，如選配背散射探測(cè)器、能譜儀等，進(jìn)行材料分析；選配工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)傾斜模塊，實(shí)現(xiàn)不同角度的材料成像等。如果選擇相應(yīng)的選配件，請(qǐng)?jiān)黾酉鄳?yīng)的價(jià)格。

     

       

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