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    包郵 關(guān)注:1059

    英國Nanobean NB5 電子束光刻機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-電子束曝光機

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

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     英國Nanobean NB5 電子束光刻機


    具有良好的穩(wěn)定性，平均正常運行時間超過93%

    Nanobean NB5 電子束光刻機

     


    規(guī)格    :

    束流電壓范圍為: 20kV - 100kV

    光刻膠的特征尺寸: <8nm (光刻精度)

    500um區(qū)域拼接/疊加誤差: 小于25nm

    自動裝載5卡盤氣鎖系統(tǒng)

     

    NB5發(fā)展目標(biāo):

    改進設(shè)計和組件以減少日常服務(wù)需求。

    實現(xiàn)每年少于5%的機器故障停機時間。

    提高性能

    便于批量生產(chǎn)。

     

    NB5系統(tǒng)將為進一步發(fā)展高偏轉(zhuǎn)速度和進一步集成電子提供平臺。

    The nB4 is a generation ahead of the current competition and with its field-proven performance has gained acceptance in the market place. It has excellent stability and has demonstrated an average uptime of greater than 93%. NanoBeam now introduces the nB5 which has been developed to further reduce delivery times and service costs.

     

    NB5 development aims:

    Refine design and components to reduce routine service requirements.
    Achieve a machine-fault-downtime of less than 5% annually.
    Enhance performance
    Facilitate volume production.
    Specification:

    Beam Voltage range        20kV - 100kV
    Feature size on resist      <8nm
    Stitching/overlay error    <25nm for 500um field
    Automatic loading            5 chuck airlock system

    The nB5 system will provide a platform for further development to high deflection speed and further integrated electronics.

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